[实用新型]一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种玻璃退火温度控制装置，尤其是涉及一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置。

背景技术

玻璃基板应力的大小是其一个重要性能参数，如果基板应力不能保证在合格范围内，则在制造过程中会出现炸裂、变形等问题，而退火是有效消除应力的一个重要手段。目前生产TFT玻璃基板的几种成熟的方法中，以溢流成型发最为流行，也相对的最为成熟，但相对的该工艺对生产过程及生产环境的控制要求都很高，TFT玻璃基板领域内的退火设备相比其它玻璃行业中使用的退火时设备要短的多，不便于多项调整，调整手段单一，无法达到通过提高退火效果来有效消除应力的目的。

发明内容

为了克服上述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置，该退火温度控制装置能够使得退火炉内部的温度和气流可控，具有结构简单易于利用的特点。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置，包括加热模块1，还包括均温板4，均温板4通过伸缩机构3与退火炉2连接，退火炉2上固定有加热模块1。

所述加热模块1为多个。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点：

1)使得退火炉内部的温度可控。

2)使得退火炉内部的气流可控。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的使用状态图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步详细说明。

如图1、图2所示，一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置，包括加热模块1，还包括均温板4，均温板4通过伸缩机构3与退火炉2连接，退火炉2上固定有加热模块1。所述加热模块1为多个。

本实用新型的工作原理为：

工作时，本实用新型等距分布在玻璃板5的两侧，当玻璃板5下流时利用退火的温度控制装置中的加热模块1消除应力，并利用均温板4的位置变化控制成型设备内部气流。根据玻璃板5的内部应力，首先使用加热模块1对相应部位进行温度控制，如加热模块1功率已降至零或升至最大限度，仍不能满足工艺使用要求时，则启动伸缩机构3，将均温板4相对与玻璃板5进行移动，以改变退火炉2内的降温环境，使退火炉2腔体内温度上升或下降，以达到改变工艺温度的目的。当利用伸缩机构3，调整均温板4的与与玻璃板5的相对位置时，还可影响到成型设备内部的空气流东，并最终改变炉体内整体气流。