[实用新型]测厚仪温度补偿系统有效

专利信息
申请号: 201020585529.1 申请日: 2010-11-01
公开(公告)号: CN201828252U 公开(公告)日: 2011-05-11
发明(设计)人: 吴耀亮 申请(专利权)人: 台光电子材料(昆山)有限公司
主分类号: G01B21/08 分类号: G01B21/08;G01D3/028
代理公司: 南京众联专利代理有限公司 32206 代理人: 赵枫
地址: 215314 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 测厚仪 温度 补偿 系统
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及测厚仪系统,尤其是涉及一种用于对测厚准确度高的场合下的测厚仪温度补偿系统。

背景技术

现有的测厚仪本身对温度较敏感,如果在温度变化较大的场合下使用可能会导致测试数据与实际偏差较大,无法正确直接的纳入统计分析,导致统计分析的结果远离真实值。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够解决测厚仪对温度较敏感的问题的测厚仪温度补偿系统。

本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是:一种测厚仪温度补偿系统,包括支架,支架上安装有测厚传感器,测厚传感器与测厚控制器电连接,测厚控制器与电脑电连接,所述的支架上还安装有温度传感器,温度传感器与温度控制器电连接,温度控制器与电脑电连接。

为了能够更好的完成测厚任务,所述的测厚传感器至少两个,进一步优选为:所述的测厚传感器有6个。

本实用新型的有益效果是:在测厚仪上安装有温度检测装置,对环境温度进行检测,再通过电脑中设置的程序对测厚仪进行温度补偿,使数据更接近实际值,统计分析的更加准确,具有在线监控产品厚度,在线统计分析的能力,节省人工线下测量厚度,统计分析成本。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中:1、支架  2、测厚传感器  3、电脑  4、温度控制器

5、测厚控制器  6、温度传感器

具体实施方式

如图1所示一种测厚仪温度补偿系统,包括支架1,支架1上安装有测厚传感器2,测厚传感器2与测厚控制器5电连接,测厚控制器5与电脑3电连接,所述的支架1上还安装有温度传感器6,温度传感器6与温度控制器4电连接,温度控制器4与电脑3电连接;所述的测厚传感器2至少两个;所述的测厚传感器2有6个。

通过安装测厚传感器2测量产品的厚度,测厚控制器5反馈到电脑3;之后通过安装温度传感器6能够及时的检测到产品周围环境温度的变化,通过温度控制器4反馈到电脑3,结合测厚反馈的信息,通过已设置在电脑3内的程序,对测厚数值进行温度补偿,使统计分析更加接近事实,节省人工线下测量厚度和统计分析的成本。

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