[实用新型]开孔图形可调式电镀阳极挡板有效
申请号: | 201020581534.5 | 申请日: | 2010-10-28 |
公开(公告)号: | CN201817561U | 公开(公告)日: | 2011-05-04 |
发明(设计)人: | 季达 | 申请(专利权)人: | 南通华达微电子集团有限公司 |
主分类号: | C25D17/00 | 分类号: | C25D17/00 |
代理公司: | 南通市永通专利事务所 32100 | 代理人: | 葛雷 |
地址: | 226000*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 图形 调式 电镀 阳极 挡板 | ||
技术领域:
本实用新型涉及一种电镀阳极挡板。
背景技术:
电镀阳极挡板是电镀槽内加在被镀工件(阴极)和被镀金属源(阳极)之间的电力线隔离板,其作用是:通过改变开孔位置和孔的大小来控制电力线均匀性,确保被镀工件镀层均匀,在保证镀层厚度质量的条件下使被镀金属源消耗量得到控制。
传统的电镀阳极挡板开孔位置和形状大小是大致的,不可能做到精确修正,实际上理想的开孔形状是一个不规则的图形,不同形状的被镀工件、镀液和电镀电流均影响阳极挡板开孔形状,因此传统的电镀阳极挡板在开空形状调正方面无法满足实际工艺需要。
发明内容:
本实用新型的目的在于提供一种结构合理,保证被镀工件上镀层厚度均匀的开孔图形可调式电镀阳极挡板。
本实用新型的技术解决方案是:
一种开孔图形可调式电镀阳极挡板,包括板体,其特征是:板体上密布小孔,部分小孔上设置与小孔配合的堵孔器。
小孔的直径为15mm,相邻小孔中心间距为30mm。
本实用新型结构合理,使用时根据被镀工件上镀层厚度差异,用堵孔器将镀层厚所对应的阳极挡板上圆孔镀掉,反复调整,直到被镀工件上镀层厚度均匀。可以很方便地对阳极挡板开孔形状进行精确调整,使被镀工件上镀层厚度均匀,有效减少电镀工序有色金属消耗,降低电镀生产成本;通用性强,不同被镀工件只需调整堵孔位置,避免阳极挡板浪费。
附图说明:
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
图1是本实用新型一个实施例的结构示图。
图2是图1中堵孔器的结构示图。
具体实施方式:
一种开孔图形可调式电镀阳极挡板,包括板体1,板体上密布小孔2,部分小孔上设置与小孔配合的堵孔器3。小孔的直径为15mm,相邻小孔中心间距为30mm。
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