[实用新型]用于RH干式抽真空系统的氮气密封装置

权利要求书

1.一种用于RH干式抽真空系统的氮气密封装置，其特征在于：包括气源装置（1）和同气源装置（1）连通的真空槽氮封装置（2）、过滤器氮封装置（3）以及泵组氮封装置（4）；

所述真空槽氮封装置（2）：包括设置在真空槽（5）与顶枪（6）之间用于防止有害气体从真空槽（5）与顶枪（6）之间间隙泄漏的密封气囊（7）和设置在热弯管法兰（8）上形成氮气幕以密封法兰端面间隙的气幕密封装置Ⅰ；

所述过滤器氮封装置（3）：为设置在过滤器卸料口法兰（9）上形成氮气幕以密封法兰端面间隙的气幕密封装置Ⅱ；

所述泵组氮封装置（4）：为设置于泵组传动齿轮轴（10）上在泵组传动齿轮油箱（11）和真空泵腔体之间形成氮气幕的气幕密封装置Ⅲ。

2.根据权利要求1所述的用于RH干式抽真空系统的氮气密封装置，其特征在于：所述气幕密封装置Ⅰ包括同轴设置于热弯管法兰（8）上的环形氮气管道Ⅰ（12）和沿环形氮气管道Ⅰ（12）周向并列连通设置的氮气喷嘴Ⅰ（13）。

3.根据权利要求2所述的用于RH干式抽真空系统的氮气密封装置，其特征在于：所述气幕密封装置Ⅱ包括同轴设置于过滤器卸料口法兰（9）上的环形氮气管道Ⅱ（14）和沿环形氮气管Ⅱ（14）道周向并列连通设置的氮气喷嘴Ⅱ（15）。

4.根据权利要求3所述的用于RH干式抽真空系统的氮气密封装置，其特征在于：所述气幕密封装置Ⅲ为同轴设置于泵组传动齿轮轴（10）上的环形氮气管道Ⅲ（16）和沿环形氮气管道Ⅲ（16）周向并列连通设置的氮气喷嘴Ⅲ（17）。

5.根据权利要求4所述的用于RH干式抽真空系统的氮气密封装置，其特征在于：所述真空槽氮封装置还包括位于密封气囊（7）下方同轴设置于顶枪圆柱面的环形氮气管道Ⅳ（18）和沿环形氮气管道Ⅳ（18）周向并列连通设置的氮气喷嘴Ⅳ（19）。

6.根据权利要求5所述的用于RH干式抽真空系统的氮气密封装置，其特征在于：连通气源装置和真空槽氮封装置的氮气管道中串联有一级调压阀（20）和一级流量调节阀（21）。

7.根据权利要求6所述的用于RH干式抽真空系统的氮气密封装置，其特征在于：连通气源装置和泵组氮封装置之间的氮气管道中串联有二级调压阀（22）和二级流量调节阀（23）。