[实用新型]一种硅单晶炉的导轨柱部件

说明书

所属技术领域

本实用新型涉及一种半导体行业的晶体生长炉部件，采用这种部件使硅单晶炉的导轨柱整体刚性好，吸振性好，加工成本低，安装和使用方便。

背景技术

导轨柱是晶体生长炉的关键部件之一，其稳定性是决定能否拉出优质硅单晶棒的关键要素之一。目前公知的导轨柱部件多采用铸件导轨柱或钢板焊接导轨柱，铸件导轨柱结构刚性低，在对导轨柱结构作调整时，还需要重新做模型，成本高，而由钢板焊接成的导轨柱，吸震性又很差；目前公知的导轨柱部件更换丝杠或丝杠上的轴承等零件时，要把整个下传动卸下来，换好后再装上，重新调整坩埚轴与炉底盘的水平度和同心度，这样做工作量大，工作效率低。

发明内容

为了解决现有的硅单晶炉导轨柱部件存在的上述问题，本实用新型提供了一种硅单晶炉的导轨柱部件，该部件加工成本低，刚性好，吸震性好，且在更换丝杠或丝杠上的轴承等零件后不需重新调整坩埚轴与炉底盘的水平度和同心度。

本实用新型所采用的技术方案是：导轨柱由上下钢板、扁钢、方钢和板筋焊接而成。上钢板作为丝杠上轴承的安装座，扁钢焊接在上下钢板之间，其内装有减震材料，方钢焊接在扁钢前面，用来安装线性滑轨，上钢板下表面焊接长方形板筋和三角形板筋，用来加固上钢板，下钢板上开有三个通孔，用来固定导轨柱。

本实用新型的有益效果是：与公知的导轨柱部件相比，本实用新型具有很好的吸震性，刚性好，加工成本低，且在更换丝杠及丝杠上的轴承等零件后无需重新调整坩埚轴与炉底盘的水平和同心度，工作效率高。

附图说明

下面结合附图对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构图

图2是图1的俯视图

图3是图1的A-A剖面图

图中1.上钢板，2.扁钢，3.方钢，4.下钢板，5.三角形筋板，6.长方形筋板

具体实施方式

图1中，在下钢板4上对称焊接两扁钢2，在两扁钢2上面焊接上钢板1，扁钢2起到支柱作用，在扁钢2后面开一个孔，往里装适量的减震材料，然后把孔堵上，使导轨柱部件具有良好的吸减震性，并且吸减震材料起到配重的作用。

图1中，在两扁钢2前面各焊接一个方钢3，在方钢3的前表面加工出安装面和安装孔，用来安装线性滑轨。

图1中，在上钢板1下面垂直焊接一个长方形的板筋6和两个三角形的板筋5，长方形板筋6位于两扁钢2的后面，长度和宽度可根据实际结构作调整，三角形板筋5同时还和方钢3的右侧面焊接，大小也可根据实际结构作调整，板筋5和板筋6主要用来加固上钢板1。

图2中，在上钢板1上加工出一个圆孔，作为丝杠上轴承座的安装孔，使丝杠上轴承座与导轨柱成为一体式结构，这种一体式结构具有很好的强度和刚度。在丝杠上轴承座的安装孔上开一个缺口，在更换丝杠及丝杠上轴承等零件时不需把下传动完全拆卸下来，从缺口处就可把丝杠取出及安装上，这样免去了重新找坩埚轴及炉底盘的水平度和同心度这步工作，方便操作的同时提高了工作效率。

图3中，在下钢板4上加工出3个安装孔，前面两个关于中心对称，后面一个在中心线上，用来固定导轨柱，并且使整个结构的承重重心位于三点之内，这样下传动具有很好的稳定性。