[实用新型]一种三氯氢硅流化床的气体分布装置有效
| 申请号： | 201020575195.X | 申请日： | 2010-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN201882922U | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 阎世城 | 申请（专利权）人： | 宁波朝日硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 杭州丰禾专利事务所有限公司 33214 | 代理人： | 王晓峰 |
| 地址： | 315204 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 三氯氢硅 流化床 气体 分布 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种三氯氢硅流化床的气体分布装置，其特征在于，包括分布板(3)，所述分布板(3)穿设在流化床壳体(1)的侧壁上，所述分布板(3)上间隔穿设有若干个出气管(5)，所述出气管(5)的下端穿设有风帽(7)。
2.如权利要求1所述的三氯氢硅流化床的气体分布装置，其特征在于，所述的出气管(5)的个数为15～25。
3.如权利要求1或2所述的三氯氢硅流化床的气体分布装置，其特征在于，所述出气管(5)为中空的圆柱体。
4.如权利要求3所述的三氯氢硅流化床的气体分布装置，其特征在于，所述壳体(1)的侧壁相应于分布板(3)处设置有密封垫。
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