[实用新型]单晶炉机架水平调节机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶炉领域，尤其涉及一种单晶炉安装辅助设备。

背景技术

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

单晶炉的机架水平调节机构的作用如下：(1)、在机械安装过程中，通过它调节机架的水平度，保证了单晶炉整体安装的水平精度，从而决定了晶棒的精度。一般的机架水平调节机构，都是采用硬性的机械动作来实现的，不易调节机架件的水平度，而且精确度不高，容易造成晶棒精度不准确等现象。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种单晶炉机架水平调节机构，该调节机构代替原始的单一螺钉调节，降低了水平调整难度，减少工作量。

本实用新型是这样实现的：一种单晶炉机架水平调节机构，包括固定螺钉、调节螺钉、螺母和机架垫板，所述机架垫板设置在机架的底面，所述的调整螺钉从机架的顶面旋入机架的安装孔内，所述的螺母旋在调整螺钉外，调节螺钉轴心开有螺纹孔，所述的固定螺钉穿过调节螺钉轴心的螺纹孔固定机架和机架垫板。

所述的调整螺钉、螺母和机架的安装孔内的螺纹都为细牙螺纹。

本实用新型使用调节螺钉和螺母配合调节高度，降低了水平调整难度，减少了工作量；并且在位置确定后使用固定螺钉将机架固定在机架垫板上，从而保证机架在水平调整后的精度和水平度的持久性。

附图说明

图1为本实用新型单晶炉机架水平调节机构安装时的结构示意图；

图2为图1的A-A剖视图。

图中：1固定螺钉、2调节螺钉、3螺母、4机架、5机架垫板。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型表述的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

实施例1

如图1所示，一种单晶炉机架水平调节机构，包括固定螺钉1、调节螺钉2、螺母3和机架垫板5，所述机架垫板5设置在机架4的底面，所述的调整螺钉2从机架4的顶面旋入机架4的安装孔内，所述的螺母3旋在调整螺钉2外，调节螺钉2轴心开有螺纹孔，所述的固定螺钉1穿过调节螺钉2轴心的螺纹孔固定机架4和机架垫板5；为了提高调整精度在本实施例中，所述的调整螺钉2、螺母3和机架4的安装孔内的螺纹都为细牙螺纹。

本实用新型在使用时根据单晶炉所用的机架4的形状选择相应若干套调节机构配合使用，比如在本实施例中，机架4的形状为长方形，所以选用四套单晶炉机架水平调节机构，在机架4的四角上每个角安装一套，通过旋转调节螺钉2控制机架4的高度，调整好后，用螺母3固定，最后使用固定螺钉1将机架4固定在机架垫板5上，从而保证机架4在水平调整后的水平度的持久性，调节简单方便。