[实用新型]靶材装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种溅镀设备，特别是涉及一种溅镀设备的靶材装置。

背景技术

一般溅镀装置包含一个腔体、一个安装在腔体内的背板、一个与该背板结合的靶材，及一个待溅镀表面。在施行溅镀时，是利用高电压在该靶材与该待溅镀表面间产生电浆，而该靶材在经过电浆撞击后会产生游离而飞溅的原子，并沉积在该待溅镀表面上，进而产生薄膜，达到在该待溅镀表面镀上预定材料层的目的。靶材受到电浆撞击后，会产生高温，因此为了降低靶材的温度，该背板会包括数个流道，并在流道内灌注冷却液以达到降低靶材温度的功能。而在待溅镀面积较大而需要较大靶材的情况下，流道的长度也随之变长，并且增加了每一单位冷却液在流道内的时间，使得邻近流道末端的冷却液的温度过高，而无法发挥冷却效果。因此，一般溅镀装置运用在溅镀大面积时，的确具有冷却不平均，及冷却效率低的情形。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种可均匀地冷却而提高冷却效率，并且具有良好适应性的靶材装置。

本实用新型的靶材装置包含：一个第一背板机构，该第一背板机构包括一个第一板单元，及一个安装在该第一板单元上的第一靶材，该第一板单元具有一个第一上板面、一个与该第一靶材贴靠的第一下板面、数个自该第一上板面凹陷且彼此连通地并排的第一主流道，及数个贯穿该第一上板面而与所述第一主流道连通的第一注水口；其特征在于：该靶材装置还包含一个与该第一背板机构拼接的第二背板机构，及一个可卡合地位在该第一背板机构与该第二背板机构间的第一接合机构，该第二背板机构包括一个可利用该第一接合机构地与该第一板单元拼接的第二板单元，及一个安装在该第二板单元上的第二靶材，该第二板单元具有一个第二上板面、一个与该第二靶材贴靠的第二下板面、数个自该第二上板面凹陷且彼此连通地并排的第二主流道，及两个贯穿该第二上板面地与所述第二主流道连通的第二注水口。

本实用新型靶材装置还包含一个第三背板机构，及一个可卡合地拼接该第一背板机构与第三背板机构的第二接合机构，该第三背板机构包括一个第三板单元，及一个安装在该第三板单元上的第三靶材，该第三板单元具有一个第三上板面、一个第三下板面、数个自该第三上板面凹陷且彼此连通地并排的第三主流道，及两个贯穿该第三上板面地连通所述第三主流道的第三注水口。

本实用新型靶材装置的第一板单元还具有两条平行的第一横边，及两条平行的第一纵边，所述第一纵边与所述第一主流道平行，该第二板单元还具有两条平行的第二横边，及两条平行的第二纵边，所述第二纵边与所述第二主流道平行，该第一接合机构包括一个位在其中一个第一纵边与其中一个第二纵边中之一者的第一接合沟，及一个设置在该第一纵边与该第二纵边其中之另一者上的第一接合条，且该第一接合条可与该第一接合沟卡合。

本实用新型靶材装置的第三板单元还具有两条平行的第三横边，及两条平行的第三纵边，所述第三纵边与所述第三主流道平行，该第二接合机构包括一个设置在另一个第一纵边与其中一个第三纵边中之一者的第二接合沟，及一个设置在该另一个第一纵边与该第三纵边其中之另一者上的第二接合条，且该第二接合条可与该第二接合沟卡合。

本实用新型靶材装置的第一板单元还具有数个分别邻近所述第一横边且连通两相邻的第一主流道的第一弯流道，该第二板单元还具有数个分别邻近所述第二横边且连通两相邻的第二主流道的第二弯流道，所述第一注水口分别位在其中一个第一横边的两相反端，所述第二注水口分别位在其中一个第二横边的两相反端。

本实用新型靶材装置的第三板单元还具有数个分别邻近所述第三横边且连通两相邻的第三主流道的第三弯流道，所述第三注水口分别位在其中一个第三横边的两相反端。

本实用新型的有益效果在于：因为该第一背板机构与该第二背板机构利用该第一接合机构而拼接成一体，并具有可独立冷却的第一主流道及第二主流道，因此可均匀地冷却该第一靶材与第二靶材，而提高冷却效率，并具有良好适应性。

附图说明

图1是一个俯视图，显示本实用新型靶材装置的一个较佳实施例，及其未装设数个流道盖的情形；

图2是一个部分剖视侧视图，显示该靶材装置的一个第一背板机构的其中一个第一注水口与其中一个第一主流道连通的情形；

图3是一个部分立体分解图，显示该第一背板机构；

图4是一个部分剖视分解图，主要显示该靶材装置的一个第一接合机构与一个第二接合机构。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。