[实用新型]软着陆扩散炉有效
| 申请号： | 201020565463.X | 申请日： | 2010-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN201835008U | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 伍波;张勇;李果山 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 软着陆 扩散 | ||
【权利要求书】：
1.一种软着陆扩散炉，包括石英管反应室和用于放置石英舟的SiC悬臂桨，其特征在于：所述软着陆扩散炉还包括一可推动所述SiC悬臂桨进出石英管反应室的推舟机构，所述SiC悬臂桨设置于所述推舟机构上。
2.根据权利要求1所述的软着陆扩散炉，其特征在于：所述推舟机构包括一X轴工作台和一Z轴工作台，所述X轴工作台设有一X轴传动装置，Z轴工作台设有一Z轴传动装置，所述Z轴工作台与X轴传动装置连接并可在X轴传动装置带动下沿X轴方向运动；所述SiC悬臂桨与Z轴传动装置连接并可在Z轴传动装置带动下沿Z轴方向运动。
3.根据权利要求1所述的软着陆扩散炉，其特征在于：所述X轴传动装置和Z轴传动装置均为丝杆传动机构，包括步进电机、丝杆和导轨。
4.根据权利要求2所述的软着陆扩散炉，其特征在于：所述推舟机构上设置有限制X轴传动装置和Z轴传动装置的行程开关。
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