[实用新型]硅片碎屑过滤网及具有所述硅片碎屑过滤网的湿制程设备

权利要求书

1.一种硅片碎屑过滤网，其特征在于，包括过滤网框架和筛网，所述筛网的外缘连接在所述过滤网框架上。

2.如权利要求1所述的硅片碎屑过滤网，其特征在于，所述过滤网框架是由多根条形板材围成的闭合结构。

3.如权利要求2所述的硅片碎屑过滤网，其特征在于，所述过滤网框架是由四根条形板材围成的矩形。

4.如权利要求2所述的硅片碎屑过滤网，其特征在于，所述过滤网框架具有相同的两个，所述筛网设置于两个所述过滤网框架之间。

5.如权利要求2所述的硅片碎屑过滤网，其特征在于，所述条形板材为条形聚丙烯板材。

6.如权利要求1所述的硅片碎屑过滤网，其特征在于，所述筛网包括一用作过滤的第一筛网和用作支撑和加强的第二筛网。

7.如权利要求6所述的硅片碎屑过滤网，其特征在于，所述第一筛网的孔径小于所述第二筛网的孔径。

8.一种湿制程设备，其特征在于，具有权利要求1至7中任一项所述的硅片碎屑过滤网。

9.如权利要求8所述的湿制程设备，其特征在于，所述湿制程设备包括硅片传送带和设置于所述硅片传送带下部的储液槽，所述硅片碎屑过滤网设置在硅片传送带和储液槽之间。