[实用新型]单晶炉用籽晶夹头

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体材料制备设备，尤其涉及一种单晶炉用籽晶夹头。

背景技术

现有籽晶夹头，夹头本体及重锤上会产生各种氧化物及其他杂物，因难以承受高温，细小的杂物脱落，受重力作用向下掉落，掉入硅熔体，会对拉晶产生很大的影响，使晶棒产生位错或断棱。

中国专利公告号CN201301358Y，公告日2009年9月2日，公告了一种新型籽晶夹头，新型籽晶夹头由夹头座和夹头嘴组成，夹头嘴的上部和夹头座的下连接孔螺纹连接，夹头嘴由左右对称的两个半圆块组成，每个半圆块的圆锥体一端中心有一个长方形卡槽，夹头嘴的两个半圆块合在一起其长方形卡槽组成方形工字型卡槽，籽晶为正方形截面的长方体，上端部有工字型头，籽晶通过工字型头和夹头嘴的方形工字型卡槽安装在夹头嘴上，再通过夹头座的上连接孔和晶体生长机重锤螺纹连接，把籽晶夹头和籽晶安装在晶体生长机上。该实用新型的籽晶是方形，不需要滚磨工序，切割可以保证精确的晶向，用于生长锗单晶和锗多晶，能够保证晶体生长后的晶向。但是该籽晶夹头上会产生各种氧化物及其他杂物，因难以承受高温，细小的杂物脱落，受重力作用向下掉落，掉入硅熔体，会对拉晶产生很大的影响，使晶棒产生位错或断棱。

发明内容

本实用新型的目的在于提供了一种单晶炉用籽晶夹头，解决了现有籽晶夹头，夹头本体及重锤上会产生各种氧化物及其他杂物，因难以承受高温，细小的杂物脱落，受重力作用向下掉落，掉入硅熔体，会对拉晶产生很大的影响，使晶棒产生位错或断棱的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种单晶炉用籽晶夹头，包括夹头本体，夹头本体上轴向设有籽晶槽，夹头本体连接于重锤上，所述夹头本体靠近重锤处设有轴肩，轴肩上表面上设有圆环形杂物槽。夹头本体靠近重锤处设有轴肩，轴肩上表面上设有圆环形杂物槽，当夹头本体和重锤上产生各种的氧化物及其他杂物，受重力作用向下掉落时，会掉入圆环形杂物槽，杂物槽阻止杂物掉入硅熔体，从而使晶棒不会产生位错或断棱，促进拉晶效果，提高晶棒质量。

作为优选，所述夹头本体的材质为石墨，重锤的材质为不锈钢。夹头本体的材质为石墨，耐高温和氧化，不易产生各种的氧化物及其他杂物，重锤的材质为不锈钢，耐氧化，不易产生各种的氧化物。

作为优选，所述夹头本体上径向设有定位孔，定位孔与籽晶槽相交。夹头本体上径向设有定位孔，定位孔与籽晶槽相交，籽晶上设有与籽晶槽处定位孔相对应的孔，将籽晶插入籽晶槽，在定位孔处插入定位销，固定籽晶。

作为优选，所述夹头本体和重锤螺纹连接。夹头本体和重锤螺纹连接，可拆卸更换夹头本体，及时拆下夹头本体，清理杂物槽中积累的杂物。

作为优选，所述杂物槽的横截面为倒直角梯形，杂物槽外侧面为斜面。杂物槽的横截面为倒直角梯形，杂物槽外侧面为斜面，便于杂物掉入杂物槽内存储，一定堆积后，便于清洗。

本实用新型的有益效果是：（1）、夹头本体靠近重锤处设有轴肩，轴肩上表面上设有圆环形杂物槽，阻止氧化物及其他杂物掉入硅熔体，提高晶棒质量；（2）、夹头本体上径向设有定位孔，使用定位销定位籽晶，结构简单，使用方便。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图中：1、重锤，2、夹头本体，3、轴肩，4、杂物槽，5、定位孔，6、籽晶槽。

具体实施方式

下面通过具体实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的具体描述：

一种单晶炉用籽晶夹头（参见附图1），包括夹头本体2，夹头本体2上轴向设有籽晶槽6，夹头本体2螺纹连接于重锤1上，夹头本体2的材质为石墨，重锤的材质为不锈钢，夹头本体2靠近重锤处设有轴肩3，轴肩3上表面上设有圆环形杂物槽4，杂物槽4的横截面为倒直角梯形，杂物槽4外侧面为斜面，夹头本体2上径向设有定位孔5，定位孔5与籽晶槽6相交，重锤1为圆柱体，籽晶槽6为圆柱形槽。单晶炉用籽晶夹头使用时，将夹头本体2连接于重锤1上，籽晶上设有与籽晶槽6处定位孔5相对应的孔，将籽晶插入籽晶槽6，在定位孔5处插入定位销，固定籽晶，夹头本体2靠近重锤处设有轴肩3，轴肩3上表面上设有圆环形杂物槽4，当重锤1和夹头本体2上产生各种的氧化物及其他杂物，受重力作用向下掉落时，会掉入圆环形杂物槽4，杂物槽阻止杂物掉入硅熔体，从而使晶棒不会产生位错或断棱，促进拉晶效果，提高晶棒质量，当杂物积累，应及时拆下夹头本体2，清理杂物槽4中积累的氧化物及其他杂物。

以上所述的实施例只是本实用新型的一种较佳的方案，并非对本实用新型作任何形式上的限制，在不超出权利要求所记载的技术方案的前提下还有其它的变体及改型。