[实用新型]单晶硅切片中的清洗装置无效
| 申请号： | 201020557161.8 | 申请日： | 2010-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN201862609U | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 殷国庆 | 申请（专利权）人： | 常州益鑫新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶硅 切片 中的 清洗 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶硅切片中的清洗装置，由支架、晶棒、钢尺等组成，其特征在于在支架两侧开槽。
2.根据权利要求1所述的单晶硅切片中的清洗装置，其特征在于支架两侧的槽是对称的。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州益鑫新能源科技有限公司，未经常州益鑫新能源科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201020557161.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
