[实用新型]硅片镀膜载板

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片镀膜设备技术领域，特别是一种硅片镀膜设备内的镀膜载板。

背景技术

现有的太阳能电池载板式PECVD镀膜设备，如Roth&Rau公司的，均采用石墨材质的载板，一方面，在石墨载板的前端与后端容易出现成膜膜厚和折射率不均匀的现象，造成薄膜颜色上的差异，影响电池外观；另一方面，同时载板的强度在使用过程中会降低。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：生长膜厚和折射率均匀的薄膜，减少生产过程中的色差现象。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种硅片镀膜载板，在载板的前端与后端分别安装一条垂直载板前进方向的匀流条，匀流条高出载板的上端和下端。

具体的，匀流条高出载板上端2～10mm，高出载板下端2～10mm。

匀流条为石墨材质。

本实用新型的有益效果是：匀流条的安装可以显著的降低载板前后端色差片的产生；同时匀流条的安装增加了石墨载板的强度，使载板更加平稳的运行于设备中，降低设备发生故障的几率。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明；

图1是载板安装匀流条的侧面图；

图2是载板安装匀流条的俯视图；

其中：1.载板，2.匀流条。

具体实施方式

现在结合附图1和2对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1和2所示，以156mm*156mm准方形多晶硅太阳能电池用载板为例，在载板1的前端与后端分别安装一条垂直载板前进方向的匀流条2，匀流条2高出载板上端2～10mm，高出载板下端2～10mm。匀流条2为石墨材质。