[实用新型]晶体生长炉的翻板阀部件

说明书

所属技术领域

本实用新型涉及一种半导体行业的全自动晶体生长炉部件，采用这种部件可实现翻板阀的自动翻转。 

背景技术

目前，公知的晶体生长炉的翻板阀多采用手动或气动方式带动阀芯翻转，手动翻转只能满足半自动晶体生长炉的使用要求，全自动晶体生长炉要求翻板阀能自动翻转，而采用气动形式的自动翻板阀涉及到的零件比较多，结构复杂，成本高，并且行程不容易调节。 

发明内容

为了克服现有翻板阀部件技术中存在的缺点，本实用新型提供一种晶体生长炉的翻板阀部件，该部件不仅能够实现翻板阀的自动翻转，还能够调节行程，同时带有手动翻转功能。该部件加工成本低，结构简单，使用可靠。 

本实用新型采用的技术方案是： 

步进电机的输出轴通过连轴器与蜗轮减速器输入轴相连，蜗轮减速器的输出轴连接一个小齿轮，小齿轮与下方的大齿轮啮合，大齿轮的轴和翻板阀阀芯相连，这样步进电机经过蜗轮减速器带动一个小齿轮转动，小齿轮带动大齿轮转动，大齿轮带动阀芯翻转，通过电机的转动可实现翻板阀的自动翻转。在蜗轮减速器的另一个输入端安装一个手轮，通过转动手轮可实现阀芯的手动翻转。在大齿轮上安装行程块，大齿轮两侧的小支架上安装有接近开关和螺钉，大齿轮转动一定角度后，其上所带的行程块就会接触到接近开关，导致电机停转，起到限位的作用。固定在小支架上的螺钉可以防止行程块过猛的撞击接近开关。 接近开关和螺钉伸出小支架的长度可以调整，相当于阀芯翻转的两个极限位置可以根据每个翻板阀的不同形状进行调整。 

本实用新型的有益效果是：翻板阀兼有电动翻转和手动翻转两种功能，在实现电动翻转时还带有限位功能，并且整个部件加工成本低，结构简单，使用可靠。 

附图说明

图1是本实用新型的主视图。 

图2是本实用新型的俯视图。 

图3是本实用新型的左视图。 

图中1.步进电机，2.联轴器，3.蜗轮减速器，4小齿轮，5.大齿轮，6.轴，7.行程块，8.螺栓，9.接近开关，10小支架，11.手柄(轮)。 

具体实施方式

在图1中，当步进电机1转动时，步进电机1的输出轴通过连轴器2带动蜗轮减速器3的输入轴转动，进而带动与蜗轮减速器3的输出轴连接的小齿轮4转动，小齿轮4与下方的大齿轮5啮合，使得大齿轮5所在的轴6发生转动，轴6与翻板阀阀芯相连，带动阀芯进行自动翻转。在蜗轮减速器3的另一个输入端安装一个手轮11，用手摇动手轮11时，同样可以通过涡轮减速器3上的小齿轮4带动其下方的大齿轮5所在的轴6发生转动，实现阀芯的手动翻转。在大齿轮5上安装行程块7，在大齿轮5左右两侧的小支架10上安装接近开关，当大齿轮5转动一定角度后，其上所带的行程块7就会接触到小支架10上的接近开关9，导致电机1停转，翻板阀停止翻转，这对翻板阀的翻转起到限位的作用。在小支架10上安装螺钉8，螺钉8的长度比接近开关9的长度稍短，螺钉8保证了行程块7在撞到接近开关9使电机1停转时不会过猛的撞击接近开关9， 保护了接近开关。