[实用新型]一种激光加工设备的分光系统

权利要求书

1.一种激光加工设备的分光系统，包括激光器(11)；其特征是：所述激光器(11)的输出光路上设有用于分光的主可调分光系统(23)，所述主可调分光系统(23)输出第一分束光(26)及第二分束光(27)；所述第二分束光(27)对应的光路上设置至少一个次级可调分光系统(28)，所述次级可调分光系统(28)对应于远离激光器(11)相对应的光路上设有光吸收器(32)。

2.根据权利要求1所述的一种激光加工设备的分光系统，其特征是：所述激光器(11)为固体激光器或气体激光器。

3.根据权利要求1所述的一种激光加工设备的分光系统，其特征是：所述主可调分光系统(23)包括第一光学偏转旋转器件(24)及第一偏振分光器件(25)。

4.根据权利要求1所述的一种激光加工设备的分光系统，其特征是：所述次级可调分光系统(28)包括第二光学偏转旋转器件(29)及第二偏振分光器件(30)。

5.根据权利要求3所述的一种激光加工设备的分光系统，其特征是：所述第一光学偏转旋转器件(24)为半波片。

6.根据权利要求4所述的一种激光加工设备的分光系统，其特征是：所述第二光学偏转器件(29)为半波片。

7.根据权利要求3所述的一种激光加工设备的分光系统，其特征是：所述第一偏振分光器件(25)为多层薄膜起偏器或晶体起偏器。

8.根据权利要求4所述的一种激光加工设备的分光系统，其特征是：所述第二偏振分光器件(30)为多层薄膜起偏器或晶体起偏器。

9.根据权利要求1所述的一种激光加工设备的分光系统，其特征是：所述次级可调分光系统(28)通过反光片(15)与主可调分光系统(23)相连，所述主可调分光系统(23)的第一光学偏转旋转器件(24)通过连接线(34)与控制器(33)相连。