[实用新型]一种真空镀膜机的光栅阀控制装置

权利要求书

1.一种真空镀膜机的光栅阀控制装置，其特征在于：它包括电气控制系统、步进电机和光电限位机构，步进电机和光电限位机构均与电气控制系统电气连接，通过电气控制系统控制步进电机和光电限位机构动作，所述步进电机的电机轴通过连接轴与光栅阀的主轴相连接，所述光电限位机构由两个光电感应器和固定安装在所述连接轴上的遮光盘构成，所述遮光盘上开有透光窄缝，它随连接轴转动，所述的两个光电感应器以相互垂直方式安装，分别对应光栅阀全开和全闭状态，两个光电感应器均为U型感应器，U型开口涵盖遮光盘开有透光窄缝的盘体，其中，一个光电感应器处于水平安装位置，其对应于光栅阀完全打开的状态，另一个感应器处于竖直安装位置，其对应于光栅阀完全关闭的状态，所述光电感应器的内置红外线光源安置在面对遮光盘的一侧，感应件安置在面对遮光盘的另一侧，并且与所述光源位置相对。

2.根据权利要求1所述的光栅阀控制装置，其特征在于：所述电气控制系统包括信号输入装置、直流电源、上位机、下位机和步进电机细分驱动器，所述下位机为PLC，其中设有步进电机控制模块，所述信号输入装置与上位机或者下位机电气连接，所述直流电源与步进电机细分驱动器之间、上位机和下位机之间、下位机与步进电机细分驱动器之间、下位机和所述光电感应器之间、步进电机细分驱动器和所述步进电机之间分别电气连接。

3.根据权利要求2所述的光栅阀控制装置，其特征在于：所述信号输入装置为可以数字显示转角的手动操作面板，所述手动操作面板与所述下位机电气连接。

4.根据权利要求2所述的光栅阀控制装置，其特征在于：所述信号输入装置为触摸屏，所述触摸屏与所述上位机电气连接。

5.根据权利要求2所述的光栅阀控制装置，其特征在于：所述信号输入装置包括触摸屏、质量流量控制仪、真空度测量仪、质量流量控制器和真空传感控制器，所述触摸屏与上位机、下位机与质量流量控制仪、下位机与真空度测量仪、质量流量控制仪和质量流量控制器、真空度测量仪与真空传感控制器之间分别电气连接。