[实用新型]带有超声波发生器的多线切割机砂浆储罐在审

专利信息
申请号: 201020518926.7 申请日: 2010-09-04
公开(公告)号: CN201800139U 公开(公告)日: 2011-04-20
发明(设计)人: 秦海滨;张志成;王柳英;姚锦嵘;王学敏 申请(专利权)人: 山西天能科技股份有限公司
主分类号: B28D7/00 分类号: B28D7/00;B28D5/04
代理公司: 山西科贝律师事务所 14106 代理人: 张乐中
地址: 030032 山*** 国省代码: 山西;14
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摘要:
搜索关键词: 带有 超声波 发生器 切割机 砂浆
【说明书】:

技术领域

实用新型带有超声波发生器的多线切割机砂浆储罐,属于多线切割机技术领域。

背景技术

在硅片多线切割过程中,砂浆起着极其重要的作用。砂浆由切削液和碳化硅磨料混合而成,其中切削液性能优劣的重要参数是分散性、悬浮能力、润滑和冷却作用。良好的分散性,可以使碳化硅在与切削液混合时分布得更均匀;优秀的悬浮能力,可以有效悬浮并携带碳化硅颗粒,提高切削效率,降低切削消耗;出色的润滑作用,可在硅片表面形成保护膜,降低切削过程阻力及硅片表面缺陷;杰出的冷却效果,可以有效的散发热量,从而降低切削应力,防止由于温度变化导致的厚度偏差。已见报道的对砂浆性能的改进主要有添加分散剂、消泡剂或极压添加剂用以提高其切削性能,所见报道都是针对砂浆在使用前的表观性能的改善。

硅片多线砂浆在配置过程中采用机械搅拌方式,碳化硅与切削液混合均匀后,里面还混有大量因搅拌而产生的气泡;砂浆在多线切割机中工作时也会因循环、搅拌等因素而混入大量空气。因而,砂浆整体为固、液、气三相体系,因为气相与固、液两相差异过大,从而使整个浆料体系多了一项不稳定因素,将直接影响其用于多线切割的性能。

实用新型内容

为克服现有技术的不足,本实用新型提供一种带有超声波发生器的多线切割机砂浆储罐,能生产加工的同时对砂浆进行处理,有效减少了砂浆中气泡量,改善了颗粒再团聚现象。

为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:带有超声波发生器的多线切割机砂浆储罐,包括:箱体、搅拌机和浆泵,箱体内部设置有搅拌机和浆泵,箱体内还设置有1~3个超声波发生装置。

所述的超声波发生装置为超声波棒。

本实用新型同现有技术相比具有的有益效果是:

本实用新型在砂浆储罐内设置有超声波发生装置,有效减少砂浆中气泡量,有效改善颗粒再团聚现象,相对于在切削液加添加剂在使用前处理方法,本实用新型既简化了处理方法,减小了处理时间,还能减少因砂浆循环产生的新气泡,降低砂浆对线切性能的影响。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步说明:

图1为本实用新型实施例1的结构示意图;

图2为本实用新型实施例2的结构示意图;

图3为图2的俯视图;

图4为本实用新型实施例3的结构示意图;

图5为图3的俯视图。

图中:1为箱体、2为超声波发生装置、3为搅拌机、4为浆泵。

具体实施方式

实施例1:如图1所示,带有超声波发生器的多线切割机砂浆储罐,包括:箱体1、搅拌机3和浆泵4,箱体1内部设置有搅拌机3和浆泵4,箱体1内还设置有1个超声波发生装置2。所述的超声波发生装置2为超声波棒,功率为4KW,频率为80KHz。

实施例2:如图2、图3所示,带有超声波发生器的多线切割机砂浆储罐,包括:箱体1、搅拌机3和浆泵4,箱体1内部设置有搅拌机3和浆泵4,箱体1内还设置有2个超声波发生装置2。所述的超声波发生装置2为超声波棒,功率为3KW,频率为40KHz。

实施例3:如图4、图5所示,带有超声波发生器的多线切割机砂浆储罐,包括:箱体1、搅拌机3和浆泵4,箱体1内部设置有搅拌机3和浆泵4,箱体1内还设置有3个超声波发生装置2。所述的超声波发生装置2为超声波棒,功率为2KW,频率为20KHz。。

超声波发生装置2为现有技术,具有分散颗粒,消除气泡的作用,浆泵4为多线切割机提供砂浆。

本实用新型只需在原有的砂浆储罐上加装超声波发生装置2即可实现。

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