[实用新型]单晶炉硅料真空装料装置有效
| 申请号： | 201020517553.1 | 申请日： | 2010-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN201785545U | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 樊治平 | 申请（专利权）人： | 大连连城数控机器有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 大连科技专利代理有限责任公司 21119 | 代理人： | 龙锋 |
| 地址： | 116036 辽宁省大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶炉硅料 真空 装料 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶炉硅料真空装料装置，其特征在于：包括坩埚体，坩埚体上安装有坩埚上盖，坩埚上盖上设有坩埚进气口，坩埚体通过管路与真空泵的泵吸气口连接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉硅料真空装料装置，其特征在于：所述坩埚上盖上设有与坩埚体连通的管接头。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉硅料真空装料装置，其特征在于：所述坩埚进气口处设有手动阀门。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉硅料真空装料装置，其特征在于：所述坩埚体与坩埚上盖之间设有密封圈。
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