[实用新型]一种能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反应器

权利要求书

1.一种能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反应器，其特征在于：所述的反应器包括反应器外壁(13)、内壁(14)、夹在外壁和内壁之间的夹套(6)、至少一层固定在反应器内壁的筛板(4)、反应器底部的还原尾气进口(1)、反应器顶部的还原尾气出口(8)、夹套(6)底部的导热油进口(3)、夹套(6)顶部的导热油出口(12)、设置在反应器中部和上部的温度测量计(11)、设置在反应器底部的氮气进口(10)和氯化氢气体进口(9)。

2.根据权利要求1所述的能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反应器，其特征在于：所述的反应器上部为圆筒形，下部为锥形。

3.根据权利要求2所述的能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反应器，其特征在于：所述的反应器的内径为φ500-1500mm，高度1000-4000mm。

4.根据权利要求1、2或3所述的能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反应器，其特征在于：所述的反应器底部设计有法兰(16)。

5.根据权利要求1、2或3所述的能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反应器，其特征在于：所述的反应器进气口上方设计有气体分布器(2)。

6.根据权利要求1、2或3所述的能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反应器，其特征在于：所述的反应器的顶部为法兰连接。

7.根据权利要求1、2或3所述的能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反应器，其特征在于：所述的反应器顶部，还原尾气出口(8)的下方设置过滤网(7)。

8.根据权利要求1、2或3所述的能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反应器，其特征在于：所述的筛板(4)上放置一层金属网(15)。

9.根据权利要求7所述的能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反应器，其特征在于：所述的金属网(15)的厚度为5-10mm。

10.根据权利要求1、2或3所述的能使四氯化硅转化为三氯氢硅的反应器，其特征在于：筛板(4)间距为300-500mm。