[实用新型]单晶炉籽晶夹头机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶炉领域，尤其涉及一种单晶炉籽晶机构。

背景技术

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

单晶炉在拉晶过程中籽晶部件与坩埚部件的同心度越高，得到的籽晶质量越好，所以在单晶炉的安装过程中需要通过籽晶机构来确定籽晶部件与坩埚部件的同心度，籽晶机构可以使晶体能更稳定的生长，在硅单晶拉制过程中，籽晶通过由籽晶机构拉晶通过的缩颈，排除了硅晶体中的位错，保证晶体的单一性。现有的籽晶机构如图1所示，包括籽晶夹头1、重锤2和定位销4，所述籽晶夹头1的底端通过螺纹同轴固定在重锤2顶部轴心的定位孔内，籽晶夹头1的顶端连接有籽晶绳6，所述重锤2底部轴心处的孔内与籽晶5套装连接，重锤2与籽晶5之间由侧边的定位销4定位固定；由于重锤2与籽晶5之间仅仅由定位销4固定，容易造成定位精度低，同时定位销4与籽晶5之间单边受力，使得籽晶5易折断。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种单晶炉籽晶夹头机构，该籽晶机构内的籽晶接头之间通过渐缩圆孔定位相连，定位同心度高，籽晶不易折断。

本实用新型是这样实现的：一种单晶炉籽晶夹头机构，包括籽晶夹头和重锤，所述籽晶夹头的底端通过螺纹同轴固定在重锤顶部轴心的定位孔内，该籽晶机构还包括籽晶接头，所述籽晶接头顶部通过螺纹连接在重锤底部的轴心孔内，籽晶接头轴心处开有从顶部向底部的渐缩圆孔，籽晶夹装在渐缩圆孔内。

所述渐缩圆孔由两层圆柱形孔构成，靠近底部的圆柱形孔内径小于靠近顶部的圆柱形孔内径，两层圆柱形孔相邻处由圆锥面过渡。

所述渐缩圆孔为圆台形孔。

本实用新型单晶炉籽晶夹头机构内的籽晶接头与籽晶之间通过渐缩圆孔定位相连，定位同心度高、旋转稳定，受力均匀，使籽晶不易折断，晶体能更稳定的生长，提高了产能和产品质量。

附图说明

图1为现有的籽晶机构结构示意图；

图2为本实用新型单晶炉籽晶夹头机构结构示意图。

图中：1籽晶夹头、2重锤、3籽晶接头、31渐缩圆孔、4定位销、5籽晶、6籽晶绳。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型表述的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

实施例1

如图2所示，一种单晶炉籽晶夹头机构，包括籽晶夹头1、重锤2和籽晶接头3，所述籽晶夹头1的底端通过螺纹同轴固定在重锤2顶部轴心的定位孔内，籽晶夹头1的顶端吊有籽晶绳6，所述籽晶接头3顶部通过螺纹连接在重锤2底部的轴心孔内，籽晶接头3轴心处开有从顶部向底部的渐缩圆孔31，籽晶5夹装在渐缩圆孔31内，渐缩圆孔31不但同心定位准确的而且还能使得籽晶接头3与籽晶5之间的受力均匀，避免了籽晶5的折断；在本实施例中所述渐缩圆孔31由两层圆柱形孔构成，靠近底部的圆柱形孔内径小于靠近顶部的圆柱形孔内径，两层圆柱形孔相邻处由圆锥面过渡。

另外需要特别说明的是在本实用新型中所述渐缩圆孔31也可为圆台形孔或截面为多项式曲线的孔，只要保证籽晶5在渐缩圆孔31内受力均匀即可。