[实用新型]一种气、液刀设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶面板制造领域，尤其涉及一种在制造TFT阵列基板过程中使用的气刀、液刀设备。

背景技术

在TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜场效应晶体管-液晶显示器)阵列基板制造工艺中，需要进行曝光、显影、刻蚀、剥离等构图工艺。其中，刻蚀工艺是其中重要一环，它是利用化学药品对玻璃基板表面的金属进行腐蚀，从而达到去掉部分金属的目的。

在实际的工艺过程中，设备内部的各个反应单元的前端和后端存在各种气刀和液刀设备，气刀一般用于截流液体，液刀一般用来预湿基板提高化学反应的均一性。且在实际应用中各种气、液刀的角度的变化会引起气、液刀相关能力、作用的变化，跟产品的质量息息相关，因此气、液刀角度的调节、控制极为重要。而目前气、液刀的角度主要是人工手动调整，不仅调整费时，且难以保证精度。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种气、液刀设备，设定后可以自动调整气、液刀刀头的角度，减少了操作时间，提高了调整精度。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种气、液刀设备，包括：

气、液刀刀头；

转动轴，固定安装在所述气、液刀刀头上；

驱动装置，与所述转动轴连接，用于驱动所述转动轴转动；

控制装置，通过有线或无线的方式与所述驱动装置连接，用于向所述驱动装置发送控制信号，控制所述驱动装置转动。

所述气、液刀设备还包括：

套筒，安装在所述转动轴上，且固定在所述气、液刀设备上，所述套筒上设有螺纹通孔；

螺栓，可转动地设置在所述螺纹通孔中；

所述螺栓与所述转动轴受力接触时，所述转动轴角度固定。

所述气、液刀设备还包括：

传动装置，安装在所述转动轴和所述驱动装置之间，用于将所述驱动装置输出的转动传递到所述转动轴。

所述驱动装置包括：伺服马达。

所述传动装置包括：传动齿轮组或联轴器。

本实用新型实施例提供的气、液刀设备，通过对控制装置进行角度设置，能够控制驱动装置带动气、液刀刀头旋转，从而实现了气、液刀刀头的自动角度调整。这样一来，针对不同的产品不用再停机人工手动调整刀头角度，一方面减少了停机时间，提高了生产效率；另一方面提高了刀头角度的调整精度，保证了产品质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的气、液刀设备的部分结构的平面示意图；

图2为本实用新型实施例提供的另一气、液刀设备的部分结构的平面示意图；

图3为本实用新型实施例提供的又一气、液刀设备的部分结构的平面示意图；

图4为图3的左视图；

图5为本实用新型实施例提供的再一气、液刀设备的部分结构的平面示意图；

图6为图5的左视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

图1为本实用新型实施例提供的气、液刀设备的部分结构的平面示意图。

该气、液刀设备包括：

气、液刀刀头1；

转动轴2，固定安装在气、液刀刀头1上；

驱动装置3，与转动轴2连接，用于驱动转动轴2转动。在图1中，驱动装置3的轴的头部有一凸部，转动轴2的头部有一凹部，驱动装置3的轴的凸部与转动轴2的凹部卡合，从而实现了连接，且通过两个轴的卡合连接，驱动装置3能够带动转动轴2转动。

控制装置(图1中未表示)，通过有线或无线的方式与驱动装置3连接，用于向驱动装置3发送控制信号，控制驱动装置3转动。

进一步地，如图2所示，在上述气、液刀设备上还包括：

套筒5，该套筒5安装在转动轴2上，且固定在气、液刀设备上，该套筒5上设有螺纹通孔51；

螺栓6，可转动地设置在该螺纹通孔51中；