[实用新型]一种单晶生长热系统的煅烧处理装置

权利要求书

1.一种单晶生长热系统的煅烧处理装置，其特征在于：

在矩形框架的机架(3)上方固定设置一个圆筒形或矩形，包括炉身(1b)、炉盖(1a)和炉底(1c)的炉体(1)，炉体(1)内的体积大于等于包括石墨器件、保温层的一套单晶炉热系统外形尺寸；

炉底(1c)放置在垫板(7)上，垫板(7)的下部安装两排滚轮(8)，并放置在托板(9)上，托板(9)由升降机构驱动可上下移动，向下可移动至机架(3)的底部；与托板(9)位于机架(3)底部的位置相平齐，横向平行设置两根与两排滚轮(8)相对应的导轨(12)；托板(9)上的滚轮(8)由横向驱动机构驱动可在导轨(12)上作水平移动；

在炉体(1)内炉身(1b)、炉盖(1a)和炉底(1c)上分别设置棒状电加热器(14)；

炉体(1)的炉身(1b)、炉盖(1a)和炉底(1c)由金属外壳和保温层组成；

炉盖(1a)上设有充气孔、测温孔及炉盖压紧锁口；

所述装置采用真空泵及增压泵(10)、减速电机、电加热器(14)，由控制器(13)经包括温度传感器、真空压力传感器、时间继电器、行程开关对装置运行进行控制。

2.根据权利要求1所述单晶生长热系统的煅烧处理装置，其特征在于所述炉体(1)内为圆筒形，内径为1000—1200mm，高度为1000—1200mm。

3.根据权利要求1所述单晶生长热系统的煅烧处理装置，其特征在于所述升降机构为，托板(9)的四角嵌入螺母，与由升降减速电机(4)同步驱动的四根丝杆(5)组成上下移动的移动装置。

4.根据权利要求1所述单晶生长热系统的煅烧处理装置，其特征在于所述横向驱动机构为，在垫板(7)上固定横向减速电机(11)，横向减速电机(11)的输出轴经转向传递，与一组滚轮(8)固定连接。

5.根据权利要求1所述单晶生长热系统的煅烧处理装置，其特征在于所述炉底(1c)下部经减震弹簧(6)固定在垫板(7)上。

6.根据权利要求1所述单晶生长热系统的煅烧处理装置，其特征在于所述炉体(1)电加热器(14)为石墨碳棒连接成三相发热体，电加热器(14)的温度为1600－2000℃。

7.根据权利要求1所述单晶生长热系统的煅烧处理装置，其特征在于所述炉体(1)由隔层内通冷却水的不锈钢双层金属外壳和石墨毡保温层组成。

8.根据权利要求1所述单晶生长热系统的煅烧处理装置，其特征在于在所述炉体(1)内设置可移动的搁置支架。