[实用新型]硅片脱胶工夹具

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及硅片脱胶领域，尤其是涉及一种适用不同尺寸硅片脱胶的硅片脱胶工夹具。

【背景技术】

公知的，脱胶是硅片生产中的重要组成部分，在硅片加工过程中，如果脱胶不彻底的话，就会影响硅片表面的平整度和洁净度，进而影响到硅片的成品率和可靠性，即硅片脱胶质量的好坏能够影响制造硅片企业的经济利益；目前，常规的硅片脱胶方法有两种：手动超声波脱胶和全自动超声波脱胶；由于手动超声波脱胶效果差及生产效率低，如脱胶后的硅片上仍然会残留许多因切割而产生的粉末，因此，传统的手动超声波脱胶机逐渐被全自动超声波脱胶机取代；虽然全自动超声波脱胶设备在生产效率和节省劳动力方面都较手动超声波脱胶设备有了很大的改进，但是全自动超声波脱胶设备在使用过程中的一些弊端也逐渐显露；比较突出的问题是设备中的工夹具昂贵且制作和交货日期较长，工夹具的品种较为单一且只能用于单一尺寸的硅片产品脱胶，结合附图1即能看出，现有工夹具中的四根夹轴之间的间距尺寸只能适用于一种尺寸的硅片脱胶，而不能适用于其他不同尺寸的硅片，此外，由于设备的工件种类繁多且不易管理，在对不同的硅片脱胶时需要更换不同的工夹具，因而极大的影响了生产效率，严重时还会因选用工夹具不当造成硅片受损，导致生产成本的增高。

【发明内容】

为了克服背景技术中的不足，本实用新型提供了一种硅片脱胶工夹具，该工夹具扩大了使用范围，能够适用于两种不同尺寸的硅片生产脱胶工序，从而达到了节约成本和提高工作效率的目的。

为实现上述发明目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种硅片脱胶工夹具，所述的工夹具包含至少四根夹轴及对应设置的前端板和后端板；所述的前端板板面上至少有间隔的设有八个前轴孔，所述的八个前轴孔按距离前端板中心位置的远近分为内外两组，且每组四个；内组四个前轴孔之间的间距尺寸对应一种硅片的尺寸，外组四个前轴孔之间的间距尺寸对应另一种硅片的尺寸；所述的后端板板面上对应八个前轴孔的位置分别设置有后轴孔；所述的夹轴的一端与前轴孔连接且呈水平放置时，夹轴的另一端能够与和这个前轴孔对应的后轴孔连接。

由于采用如上所述的技术方案，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型所述的硅片脱胶工夹具，由于在工夹具的前端板和后端板设置了对应的两组轴孔，且通过在工夹具前后两端板对应设置的两组轴孔之间切换连接夹轴来扩大工夹具的使用范围，从而使本实用新型所述的硅片脱胶工夹具能够适用于两种不同尺寸的硅片生产脱胶工序，达到了节约成本和提高工作效率的目的。

【附图说明】

图1是现有工夹具示意图；

图2是本实用新型的示意图。

图中：1、前端板；2、后端板；3、前轴孔；4、后轴孔；5、夹轴。

【具体实施方式】

通过下面的实施例可以更详细的解释本实用新型，公开本实用新型的目的旨在保护本实用新型范围内的一切变化和改进，本实用新型并不局限于下面的实施例；

结合附图2所述的硅片脱胶工夹具，所述的工夹具包含至少四根夹轴5及对应设置的前端板1和后端板2；所述的前端板1板面上至少有间隔的设有八个前轴孔3，所述的八个前轴孔3按距离前端板中心位置的远近分为内外两组，且每组四个，即排列在靠进前端板1中心位置的四个前轴孔3为内组，排列在远离前端板1中心位置的四个前轴孔3为外组；同时，内组的四个前轴孔3之间的间距尺寸为对应一种硅片的尺寸设置，外组四个前轴孔3之间的间距尺寸为对应另一种硅片的尺寸设置；所述的后端板2板面上对应八个前轴孔3的位置分别设置有后轴孔4，即后端板2上设置的八个后轴孔4与对应的八个前轴孔3一样，也对应分为内外两组；因此，前端板1上的四个内组前轴孔3能够与后端板2上的四个内组后轴孔4合称为内组轴孔，同样，前端板1上的四个外组前轴孔3能够与后端板2上的四个外组后轴孔4合称为外组轴孔；所述的单根夹轴5的一端与一个前轴孔3连接且轴身呈水平放置时，单根夹轴5的另一端能够与和这个前轴孔3对应的后轴孔4连接，即四根夹轴5的两端分别与对应的内组轴孔连接后，四根夹轴5之间的间距尺寸能够适用于一种对应尺寸的硅片脱胶；当将四根夹轴5的两端分别切换连接至对应的外组轴孔时，四根夹轴5之间的间距尺寸能够适用于另一种对应尺寸的硅片脱胶，从而达到了只需一付工夹具就能够适用于两种不同尺寸硅片的脱胶及其他相关应用的目的。