[实用新型]真空装置的阀门结构

权利要求书

1.一种真空装置的阀门结构，该真空装置具有至少一腔室，其特征在于，该阀门结构包含：

一腔室连接体，具有至少一通孔，连结于该腔室；

一闭合构件，包含一第一轴杆及一阀门，该第一轴杆枢设于该腔室连接体内，该阀门连结于该第一轴杆，该第一轴杆相对于该腔室连接体枢转并连动该阀门封闭该通孔；以及

一扣锁构件，包含一第二轴杆及至少一抵顶件，该第二轴杆枢设于该腔室连接体内，该抵顶件连结于该第二轴杆，该第二轴杆相对于该腔室连接体枢转并连动该抵顶件推抵该阀门压合并密封住该通孔。

2.根据权利要求1所述的真空装置的阀门结构，其特征在于，该闭合构件还包含至少一第一连接杆，该第一连接杆分别连接该第一轴杆及该阀门，当该第一轴杆相对于该腔室连接体枢转，该阀门借由该第一连接杆而随该第一轴杆连动，并且该阀门封闭该通孔。

3.根据权利要求2所述的真空装置的阀门结构，其特征在于，还具有至少一联结件及至少一锁固件，该联结件固设于该阀门，该锁固件穿设该第一连接杆与该联结件，令该第一连接杆与该阀门相连接。

4.根据权利要求1所述的真空装置的阀门结构，其特征在于，该扣锁构件还包含至少一第二连接杆，该第二连接杆分别连接该第二轴杆及该抵顶件，当该第二轴杆相对于该腔室连接体枢转，该抵顶件借由该第二连接杆而随该第二轴杆连动，并且该抵顶件推抵该阀门。

5.根据权利要求1所述的真空装置的阀门结构，其特征在于，该抵顶件具有一弹性组件，该弹性组件一端连接该抵顶件，另一端用于推抵该阀门，该抵顶件通过该弹性组件而推抵该阀门。

6.根据权利要求1所述的真空装置的阀门结构，其特征在于，还包含一止漏件，固设于该阀门上并面对该通孔，该止漏件的形状为对应该通孔的形状，当该阀门压合该通孔，该止漏件环绕于该通孔的外缘。

7.根据权利要求1所述的真空装置的阀门结构，其特征在于，还包含至少二轴承，设置于该腔室连接体内，该第一轴杆及该第二轴杆分别连接于该二轴承，并且枢设于该腔室连接体内。

8.根据权利要求1所述的真空装置的阀门结构，其特征在于，还包含二气压缸，该二气压缸分别连结该第一轴杆与该第二轴杆，该二气压缸用以驱动该第一轴杆与该第二轴杆相对于该腔室连接体枢转。

9.根据权利要求1所述的真空装置的阀门结构，其特征在于，该阀门还具有至少一垫片，设置于该阀门面向该扣锁构件的一侧面上，该抵顶件为抵顶于该垫片并压合该阀门。

10.一种真空装置的阀门结构，该真空装置具有至少一腔室，其特征在于，该阀门结构包含：

一腔室连接体，具有至少一通孔，连结于该腔室；

一闭合构件，用于封闭该通孔；以及

一扣锁构件，具有至少一抵顶件，该抵顶件推抵该闭合构件压合并密封住该通孔。