[实用新型]一种金属有机物化学气相沉积设备的水冷夹层

权利要求书

1.一种金属有机物化学气相沉积设备中在高温及真空状态下分隔Ⅲ族和Ⅴ族气体所用的水冷夹层，其特征在于由上下隔板构成的夹层结构，水冷管布置在夹层中间。

2.根据权利要求1所述一种金属有机物化学气相沉积设备的水冷夹层，其特征在于进出水分区布置，水冷管环形等距间隔的布置在每个分区内。

3.根据权利要求1、2所述一种金属有机物化学气相沉积设备的水冷夹层，其特征在于每个分区有一个进水口及出水口。

4.根据权利要求1、2、3所述一种金属有机物化学气相沉积设备的水冷夹层，其特征在于通气孔均匀的布置在水冷管的空隙处。

5.根据权利要求1、2、3、4所述一种金属有机物化学气相沉积设备的水冷夹层，其特征在于外圈布置O型与腔体密封。