[实用新型]一种金属有机物化学气相沉积设备的加热器

权利要求书

1.一种金属有机物化学气相沉积设备的加热器，其特征在于，包括：由内至外依次设置的内圈加热片(7)、第一中圈加热片(8)、第二中圈加热片(9)、以及外圈加热片(10)；所述内圈加热片(7)、外圈加热片(10)、第一中圈加热片(8)和第二中圈加热片(9)采用两种或以上不同材质的加热片组成。

2.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述内圈加热片(7)和外圈加热片(10)为铼加热片，所述第一中圈加热片(8)和第二中圈加热片(9)为钨加热片。

3.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述加热器的周边设有隔热屏(5)。

4.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述加热器还包括内圈加热片(7)、第一中圈加热片(8)、第二中圈加热片(9)、以及外圈加热片(10)连接有钼电极(4)；所述钼电极(4)连接有转接块(3)。

5.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述加热器的下方设有三层反射板(1)和一层隔热板(2)，所述隔热板(2)设置在最下层。