[实用新型]多任务式晶圆烘烤加工系统有效
申请号: | 201020282151.8 | 申请日: | 2010-08-05 |
公开(公告)号: | CN201729911U | 公开(公告)日: | 2011-02-02 |
发明(设计)人: | 许玮隆;张金庄 | 申请(专利权)人: | 程隆科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B33/02 | 分类号: | C30B33/02 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 何为 |
地址: | 中国台湾桃园*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 任务 式晶圆 烘烤 加工 系统 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种加工系统,尤指一种多任务式晶圆烘烤加工系统,可快速馈入待烘烤的晶圆,且可同时执行馈入晶圆载具的晶圆、将晶圆送入烤盘进行烘烤程序、以及将已烤好的晶圆送到另一晶圆载具等三项以上的动作,藉此达到多任务的效果以便达到提高晶圆产率的目标。
背景技术
半导体科技的发展剧烈影响人类的现代社会,举凡各类电子商品,其内部均存在半导体组件,提高电子商品的运算、储存以及显示能力。在竞争激烈的半导体工业之中,能否提高半导体组件的产率以及良率,是击败对手而掠取大量商机的重要关键。
半导体组件的产率以及良率的高低,除了有赖先天设计的优劣之外,半导体加工制程的好坏快慢亦是重要的因素之一。
晶圆(Wafer)是半导体的基础半成品,当晶圆制作完毕后,则可进一步切割成为数个裸装半导体芯片以利后续的封装、打线等后期制程。在生产晶圆的过程中,时常需要将晶圆馈入一烘烤装置,并且置放烤盘上进行烘烤作业,藉由烤盘的适当温度来将晶圆上的药剂,例如光阻等等,进行物理性或是化学性的转变,例如热固化等等。
传统的晶圆烘烤装置提供一序列式的线性烘烤制程,所有的晶圆依序排列在一线性的路径上,依序被运送馈入烤盘,进行烘烤后再被送出烘烤装置。因此,位于同一线性路径上的晶圆,必须等待前一个晶圆烘烤完成后,才能进行烘烤作业。半导体制造商虽然可藉由同时启动多个这类的晶圆烘烤装置来进行晶圆的多线作业,然而,同时大量购置这类烘烤装置除了需要花费高昂的装置以及维修成本,由于这类烘烤装置极占场地空间,厂商还得想法另扩充厂房用地,因此,此类烘烤装置成本过高。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是:针对上述传统烘烤装置以单线进行而无法提供良好产率的不足,提供一种多任务式晶圆烘烤加工系统,可快速馈入待烘烤的晶圆,并且可同时执行馈入晶圆载具的晶圆、将晶圆送入烤盘进行烘烤程序、以及将已烤好的晶圆送到另一晶圆载具等三项以上的动作,藉此达到多任务的效果以便达到提高晶圆产率的目标。
为了解决上述技术问题,本实用新型所采用的技术方案是:一种多任务式晶圆烘烤加工系统,其包含机架、晶圆馈入装置、烘烤装置、及馈出装置,该晶圆馈入装置设置在该机架上,且可横向移动晶圆;该馈出装置设置在机架上,可接收来自十字型多任务移载装置上已烘烤好的晶圆,其特点是:还包括十字型多任务移载装置,其设置于该机架上,接收来自晶圆馈入装置的晶圆,且具有基座、垂直升降座及旋转盘,该基座设置在机架上,该垂直升降座以垂直滑动设置在该基座上,该旋转盘可旋转地设置在该垂直升降座上,且在旋转盘上设置有至少四支自旋转盘上径向向外突出的承载臂以用于承载晶圆;该烘烤装置为环型,设置在机架上,与十字型多任务移载装置相对,且具有中央转盘、数个晶圆收放架及数个烤盘组件,该中央转盘可旋转地设置在机架上,该数个晶圆收放架径向分布在中央转盘周缘,且可抓取来自十字型多任务移载装置的晶圆,该数个烤盘组件固定在机架上且环设于中央转盘与晶圆收放架外围。
前述该十字型多任务移载装置的旋转盘可依序执行上升、旋转、下降的动作,来分别进行对晶圆的抓取、移动、摆放程序。
前述十字型多任务移载装置位于环型烘烤装置下方,且该四支承载臂匀设于旋转盘周围。
前述各晶圆收放架具有一固定架、一传动装置以及二开关闸臂;该固定架固定在中央转盘上;该传动装置固定在固定架上;两开关闸臂以可轴向旋转方式设置在固定架上,且与传动装置连接,使两开关闸臂可对进行对称旋转到达水平位置来承载晶圆或是到达垂直位置来放开晶圆。
前述各晶圆收放架的各开关闸臂上形成有复数大小相异的放置槽以承载不同尺寸的晶圆。
前述各烤盘组件分别具有一座体、一烤盘以及数根顶针,该座体固定在机架上,该烤盘固定在座体上,该数根顶针以可垂直上下伸缩的方式贯穿设置在烤盘上,且可穿出烤盘将晶圆顶起或是缩入烤盘内以将晶圆降到烤盘表面。
前述烤盘组件的数量少于晶圆收放架数量的一个以上,使其中两相邻的烤盘组件之间有一交握间隔以供十字型多任务移载装置与相对应晶圆收放架进行交握。
前述烤盘组件的数量少于晶圆收放架数量的两个以上,使得除了其中两相邻烤盘组件腾出前述的交握间隔之外,令在其它两相邻烤盘组件之间腾出缓冲间隔,藉此避免晶圆的烘烤温度骤变。
前述各烤盘组件的烤盘上有至少一组撑立突块以将晶圆撑立悬空于烤盘上。
前述所有烤盘的温度均不同。
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