[实用新型]链式扩散设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造设备，尤其涉及链式扩散设备。

背景技术

磷扩散广泛应用于晶体硅电池的生产工艺中。掺杂微量磷到硅片表面可形成晶体硅电池的PN结。这一工艺通过两个工艺过程来实现：首先，在硅片正面沉积磷蒸汽或涂敷磷涂层；然后，将硅片在800℃～1000℃的温度范围内进行热处理来使磷扩散进硅片形成PN结。上述工艺过程通常是在间歇操作式的管状炉或连续作业的链式扩散设备中完成。与间歇式炉相比，链式扩散设备的均匀性好、碎片率低、产能更高、所需的工艺时间短，而且连续式扩散的成本只有管状炉扩散的三分之一。

由此，链式扩散设备在业界的使用日益受到青睐。链式扩散设备的使用，就上料过程而言，操作人员需要从放置在物料台上的承载盒内取出硅片，放置到放片区，进而通过放片区将硅片传送到链式扩散设备的网带；而下料过程，操作人员需要直接从网带上取硅片，然后将硅片插入承载盒内，所述承载盒放置在物料台上。

图1所示为现有链式扩散设备示意图。如图所示，操作人员的上料操作空间是在链式扩散设备四个侧面区域中的A区域13中，A区域13与链式扩散设备10的放片单元14相对；物料台12设置在链式扩散设备四个侧面区域中的B区域15。上料过程中，操作人员需要从A区域13进入到B区域15，再从物料台12的承载盒中取得硅片，然后回到A区域13，将硅片放置到放片单元14，通过该放片单元14将硅片送入链式扩散设备12的网带16。可见，现有的链式扩散设备的上料结构需要操作人员碾转于链式扩散设备的两个不同侧面区域，增加了操作人员的劳动强度且降低了产量。此外，当前链式扩散设备的上料结构中，物料台的面积较小，一般只能放下一个承载盒，所以操作人员在取完一盒中的片子后，就得再从传递窗取一个承载盒放至物料台上。

继续参考图1，如图所示，链式扩散设备10的四个侧面区域的C区域23为操作人员的下料操作空间，其中C区域23与A区域13是相对应的。操作人员通过网带16接收已经过扩散处理的硅片，并从C区域23进入到B区域15，以便将硅片插入放置在下料台24上的承载盒中。与上料结构一样，当前的下料台同样只能放置一个承载盒，所以操作人员在放满一个承载盒后，就得再取一个承载盒放到下料台上。由于下料台设置在B区域15或D区域，而未设置在操作人员直接面对的C区域23中，使得操作人员为完成下料操作，不得不碾转于链式扩散设备的两个不同侧面区域，增加了操作人员的劳动强度且降低了产量。

综上，可见当前链式扩散设备还存在有待改进之处。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供链式扩散设备，其包括包括链式扩散设备本体，该链式扩散设备本体进片侧的网带上方设置有用于放置承载盒的第一物料台。优选地，该第一物料台为上料台。优选地，该第一物料台横向设置在网带上方，其至少容纳两个承载盒。

本实用新型还提供一种链式扩散设备，其包括链式扩散设备本体，该链式扩散设备本体出片侧的网带上方设置有用于放置承载盒的第二物料台。优选地，该链式扩散设备本体出片侧设置有接片台，该接片台与该链式扩散设备本体中的网带相邻接，且与该网带平齐或略低于该网带；该第二物料台横向设置在网带上方且至少容纳两个承载盒，该第二物料台为下料台。

本实用新型另外还提供一种链式扩散设备，其包括链式扩散设备本体，该链式扩散设备本体进片侧的网带上方设置用于放置承载盒的第一物料台，该链式扩散设备本体出片侧的网带上方设置有用于放置承载盒的第二物料台。

优选地，该第一物料台为上料台，该第二物料台为下料台。

优选地，该链式扩散设备本体出片侧设置有接片台，该接片台与该链式扩散设备本体中的网带相邻接，且与该网带平齐或略低于该网带。

优选地，所述第一物料台和第二物料台均横向设置在网带上方，均至少容纳两个承载盒。

与现有技术中上料台和下料台均设置设备本体侧边且容量较小，导致上下料作业不方便和产量较低相比，本实用新型所述的链式扩散设备通过将第一物料台和第二物料台分别设置在设备本体进片侧和出片侧的网带上方，使得操作人员在上下片时无需在链式扩散设备的两个侧面区域活动，大大提高了操作人员操作的便利性和产量。

附图说明

图1是现有的链式扩散设备的结构示意图；

图2是本实用新型所述的链式扩散设备的第一示例的示意图；

图3是第一示例中第一物料台与链式扩散设备本体连接的示意图；

图4是本实用新型所述的链式扩散设备的第二示例的示意图；以及

图5是根据本发明所述的链式扩散设备的第三示例的示意图。

具体实施方式