[实用新型]一种蒸镀盘座

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体工艺制程装置，具体的说是一种蒸镀盘座。

背景技术

蒸镀是半导体工艺制程中一种常见的镀膜方法，它是在真空容器中，将欲蒸镀的材料加热至汽化升华，使此气体附着于放置在附近的蒸镀盘材料上，形成一层薄膜。蒸镀盘作为承载蒸镀材料的载具，一般都是由金属圆盘构成，这样的金属圆盘在装载蒸镀材料时需放置于蒸镀盘座上。现有的蒸镀盘座一般体积较大，放置蒸镀盘时转动不便，装载蒸镀材料时费时费力，影响生产效率。

发明内容

本实用新型的目的就是为了克服上述现有技术的不足之处，而提供一种蒸镀盘座，其结构简单，使用方便，节省人力，能有效提高生产效率。

本实用新型的目的是通过如下技术措施来实现的：一种蒸镀盘座，包括底座和设于底座之上的支撑架，所述支撑架内设有滑动轴承。

在上述技术方案中，所述滑动轴承套接于支撑架内。

在上述技术方案中，所述滑动轴承为塑料轴承。

在上述技术方案中，所述支撑架与底座之间的夹角为60度至70度。

本实用新型结构简单，使用方便，蒸镀盘置于其上转动灵活，上下货时省时省力，能有效提高生产效率。

附图说明

图1为本实用新型蒸镀盘座的结构示意图。

图2为本实用新型蒸镀盘座的使用状态图。

其中：1.底座、2.支撑架、3.滑动轴承、4.蒸镀盘。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步的描述。

如图1所示，本实施例提供一种蒸镀盘座，包括底座1和支撑架2，所述支撑架2设于底座1之上，支撑架2与底座1的夹角为60度至70度，符合人体工学的设计要求；支撑架2内设有滑动轴承3，便于固定蒸镀盘，并能灵活转动。此种实施例结构简单，节省空间，蒸镀盘置于其上转动灵活。

在上述实施例中，所述滑动轴承3套接于支撑架2内，可方便拆卸，便于更换。

另外，本实施例中的滑动轴承为塑料轴承。常用的轴承塑料有酚醛塑料、尼龙、聚四氟乙烯等，塑料轴承有较大的抗压强度和耐磨性。

如图2所示，使用时，首先将支撑架2调整朝向工作人员放置，然后将蒸镀盘4底部插入滑动轴承3中，即可起到固定蒸镀盘4的作用，由于蒸镀盘4置于其上可以灵活转动，工作人员只需在较小区域内实施操作，大大节省了人力，提高了生产效率。