[实用新型]一种晶体硅太阳电池生产用扩散炉的尾气管接头

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶体硅太阳电池生产用扩散炉的尾气管接头。

背景技术

目前成熟商业化生产的晶体硅太阳电池以其工艺流程简单，便于大规模生产等优点而迅速发展起来。这种商业化生产晶体硅太阳电池的一个极其重要的工序是采用扩散技术在硅片表面掺杂，控制一定扩散深度，形成电池的P-N结，具有工艺简单、设备技术发展成熟、自动化程度高、被扩散产品的产能高等优点，从而能够降低生产成本，使晶体硅太阳电池迅速走向商业化生产。但是，由于扩散副产物的形成，导致排放尾气的尾气管1与大石英管的尾管2粘结，当尾气管堵塞，造成尾气排放不畅时，更换不方便，耗时耗力，这不仅影响了扩散工艺的均匀性和稳定性，还延长了设备当机时间，影响生产产能。

目前太阳电池行业所使用的扩散炉尾气管接口均为普通的直通或变径PVDF或PFA等耐高温材料的接头，这种接头不能解决尾气管粘结问题，如图1所示，反应副产物容易在尾气管1与大石英管的尾管2之间的区域沉积，把大石英管的尾管与排气的尾气管粘结在一起。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于，克服了现有普通接头仅有的简单的连接密封作用，提供了一种可以引入气体保护，防止反应副产物在尾管处冷凝、造成尾气管粘结的接头。本实用新型将气体动力学引入，起到隔离反应副产物于局部空间之外的作用，从而避免副产物在局部空间沉积，有效防止了尾气管的粘结。

本实用新型为了解决上述技术问题，所采用的技术方案是：晶体硅太阳电池生产用扩散炉的尾气管接头(简称尾气管接头)，包括接头体，其特征是：接头体的内孔分为尾气管结合段和大石英管的尾管结合段，大石英管的尾管结合段的内径大于尾气管结合段的内径；在接头体上开有保护气孔，保护气孔与大石英管的尾管结合段在接头体内部的端部联通。

使用时，将尾气管接头内孔的尾气管结合段与尾气管结合，将大石英管的尾管结合段与大石英管的尾管结合，将保护气孔与保护气源接通。由保护气孔通入保护气，使大石英管的尾管与排气的尾气管区域处于保护气气体的氛围下，阻止反应副产物沉积在此处，以达到防止两管粘结的目的。

本实用新型尾气管接头，结构简单，制备方便，能够有效防止大石英管的尾管与排气的尾气管粘结，接头拆卸更换方便。经实验验证，此结构对产品质量不会产生任何负面影响，相反，对产品质量参数的提升和工艺稳定都有一定的好处。

附图说明

图1是现有技术的尾气管接头结构示意图；

图2是本实用新型晶体硅太阳电池生产用扩散炉的尾气管接头结构示意图；

图3是本实用新型晶体硅太阳电池生产用扩散炉的尾气管接头使用状态示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作详细说明。

实施例：

如图2所示，晶体硅太阳电池生产用扩散炉的尾气管接头，包括接头体3，其特征是：接头体的内孔分为尾气管结合段4和大石英管的尾管结合段5，大石英管的尾管结合段5的内径大于尾气管结合段4的内径；在接头体上开有保护气孔6，保护气孔与大石英管的尾管结合段在接头体内部的端部7联通。

如图3所示，使用时，将尾气管接头内孔的尾气管结合段与尾气管结合，将大石英管的尾管结合段与大石英管的尾管结合，将保护气孔与保护气源接通。由保护气孔通入保护气，使大石英管的尾管与排气的尾气管区域处于保护气气体的氛围下，阻止反应副产物沉积在此处，以达到防止两管粘结的目的。