[实用新型]孔微力测量装置的测量头机构

权利要求书

1.一种孔微力测量装置的测量头机构，包括一活动探针、两个固定探针，还包括第一连接块、第二连接块、基座、拉板、活动部件、活动部件驱动装置及底板，所述第一连接块分为第一连接块a和第一连接块b，其特征在于，

所述两个固定探针分别设于第一连接块a和第一连接块b上，该第一连接块a和b的背面与所述基座通过非导电胶紧密粘接，该第一连接块a和b之间设有隙缝或通过非导电胶紧密粘接，所述基座固定于底板上；

所述活动探针设于第二连接块的一端，该第二连接块的另一端与所述拉板通过非导电胶紧密粘接，该拉板与活动部件固定连接，且该活动部件设于底板上，使所述活动探针在该拉板、活动部件的带动下相对固定探针移动；

所述活动部件包括滑块和导轨，该滑块和导轨相适配，所述拉板与滑块固定连接并受所述活动部件驱动装置驱动，所述导轨固定设于底板上，在所述底板上设有前进缓冲装置，在所述拉板与所述活动部件驱动装置之间设有复位缓冲装置。

2.根据权利要求1所述的孔微力测量装置的测量头机构，其特征在于，所述设有活动探针的第二连接块位于第一连接块的凹槽中，且该第二连接块在拉板、活动部件的带动下沿该第一连接块的凹槽移动，该第一连接块凹槽的宽度大于第二连接块的宽度，使第二连接块与第一连接块之间留有空隙。

3.根据权利要求1或2所述的孔微力测量装置的测量头机构，其特征在于，所述前进缓冲装置和复位缓冲装置均为弹簧缓冲器。

4.根据权利要求1或2所述的孔微力测量装置的测量头机构，其特征在于，所述活动探针沿两固定探针的垂直平分线的方向移动。

5.根据权利要求1所述的孔微力测量装置的测量头机构，其特征在于，所述非导电胶为环氧胶。