[实用新型]一种扫描电子显微镜用分析柔性长样品的样品台

说明书

技术领域：

本实用新型涉及的是一种在扫描电子显微镜中使用的观察组织的设备，尤其涉及一种扫描电子显微镜用可以分析柔性长样品的样品台的制备与研发领域。

背景技术：

在现有技术中，公知的技术是扫描电子显微镜中在用的普通样品台和进口的多功能样品台。现有的普通样品台只有放置试样并使其移动位置的功能，不能大范围分析柔性长样品。进口的多功能样品台包括机械装夹样品的部分及其电动驱动装置和自动控制系统，由于实行机电一体的控制，因而机构复杂，价格昂贵，难以实用化。这是现有技术所存在的不足之处。

发明内容：

本实用新型的目的，就是针对现有技术所存在的不足，而提供一种具有分析柔性长样品功能且结构简单、成本低廉、实用性强的样品台，

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是：在样品台底座上，设置一个由齿轮、操纵杆、转轴、螺母、定位销和固定端所组成的机械装夹装置。在该装置中，齿轮与操纵杆及转轴为键连接，且齿轮用轴肩和螺母进行轴向固定；操纵杆与样品台底座为活动连接；试样通过定位销固定在转轴上。前后推拉操纵杆，使操纵杆与转轴上的两齿轮啮合，然后转动操纵杆，利用齿轮传动，带动转轴转动，使试样从左向右(或从右向左)运动，实现分析柔性长样品的目的。

本实用新型的有益效果是：可以大范围分析柔性长样品，从而减少更换样品的时间和样品室抽真空的次数，提高工作效率。另外，该样品台只含机械装夹部分，无电动驱动装置和自动控制系统，结构简单、成本低廉、实用性强。

附图说明：

图1为本实用新型具体实施方式的结构示意图。

图中，1为定位螺母，2为齿轮，3为样品台底座，4为燕尾槽，5为转轴固定端，6为转轴，7为试样，8为定位销，9为轴肩，10为固定螺母，11为操纵杆，12为操纵杆固定端。

具体实施方式：

为能清楚说明本方案的技术特点，下面通过一个具体实施方式并结合附图对本方案进行阐述。

在图1中，齿轮(2)与操纵杆(11)及转轴(6)为键连接，且齿轮(2)用轴肩(9)和固定螺母(10)进行轴向固定；操纵杆(11)与样品台底座(3)为活动连接；试样(7)通过定位销(8)固定在转轴(6)上。向前推动操纵杆(11)，当定位螺母(1)与操纵杆固定端(12)相接触时，操纵杆(11)与左转轴(6)上的两齿轮(2)实现啮合，然后顺时针转动操纵杆(11)，通过齿轮(2)传动，左转轴(6)逆时针转动，从而实现试样(7)由右向左运动；向后拉动操纵杆(11)，当轴肩(9)与操纵杆固定端(12)相接触时，操纵杆(11)与右转轴(6)上的两齿轮(2)实现啮合，然后逆时针转动操纵杆(11)，通过齿轮(2)传动，右转轴(6)顺时针转动，从而实现试样(7)左向右运动。