[实用新型]一种耐高温固体润滑膜有效
| 申请号： | 201020243869.6 | 申请日： | 2010-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN201762435U | 公开（公告）日： | 2011-03-16 |
| 发明（设计）人： | 苏达;郭立杰;王炜;宿国友;刘明芳;石磊;田昕 | 申请（专利权）人： | 上海航天设备制造总厂 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C10M103/06 |
| 代理公司： | 上海航天局专利中心 31107 | 代理人： | 金家山 |
| 地址： | 200245*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 耐高温 固体 润滑 | ||
【权利要求书】：
1.一种耐高温固体润滑膜，其特征在于，该固体润滑膜由过渡层、承载层和润滑层组成，在金属运动零部件表面采用磁控溅射法依次制备钛膜作为过渡层、氮化钛膜作为承载层和二硫化硅膜作为润滑层。
2.按权利要求1所述的耐高温固体润滑膜，其特征在于，金属运动零部件的材质为钛、铝、钛合金、铝合金或钢。
3.按权利要求1所述的耐高温固体润滑膜，其特征在于，过渡层的厚度为40nm～80nm。
4.按权利要求1所述的耐高温固体润滑膜，其特征在于，承载层的厚度为2um～10um。
5.按权利要求1所述的耐高温固体润滑膜，其特征在于，润滑层的厚度为12um～20um。
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