[实用新型]石英埚吊具有效
申请号: | 201020243372.4 | 申请日: | 2010-07-01 |
公开(公告)号: | CN201801631U | 公开(公告)日: | 2011-04-20 |
发明(设计)人: | 刘彬国;何京辉;曹祥瑞;颜超;李朝阳 | 申请(专利权)人: | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 米文智 |
地址: | 054001 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石英 埚吊具 | ||
技术领域
本实用新型涉及单晶硅生产领域,尤其涉及一种当在石英埚中加满原料后将石英埚放置在单晶硅炉内的吊具。
背景技术
目前,拉制单晶硅时是先将石英埚放置在单晶硅炉内,再将原料装入石英埚内,此过程中很难避免原料掉入单晶硅炉内,从而造成单晶硅炉内热场元件的污染,严重时热场元件发生粘连从而影响热场元件的寿命,并且给生产带来极大不便。同时在单晶硅炉内装料时间长达40分钟,装料时间越长,原料在车间暴露的时间越长,污染的机会越大;且单晶炉周围环境很难清理干净,经常有多台设备同时拆炉,这样会严重影响原料的纯度,进而影响拉制的单晶硅的质量。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种先在石英埚内装满原料后再将石英埚放入单晶硅炉内的石英埚吊具,以控制原料纯度。
为解决上述技术问题,本实用新型所采取的技术方案是:一种石英埚吊具,包括石英埚夹具和吊钩;所述石英埚夹具包括圆环形底座、连接杆和吊架;所述圆环形底座由至少2个均等的环段组成,相邻两环段间通过位于环段端部的支耳用螺栓连接;所述吊架包括吊环、拉杆和水平圆环,水平圆环通过均布的拉杆与吊环固定连接;所述连接杆分别与圆环形底座和水平圆环铰接,水平圆环的直径大于圆环形底座的直径。
所述圆环形底座由4个均等的环段组成。
所述连接杆的数目至少为3个。
所述拉杆的数目至少为3个。
采用上述技术方案所产生的有益效果在于:拉制单晶硅前,先在一个洁净的环境中将原料装入石英埚,用干净的塑料袋将其封装好;利用吊钩将石英埚夹具和单晶硅炉内设置的重锤的夹头连接,借助单晶硅炉的提升装置将装满原 料的石英埚送入单晶硅炉内。单晶硅炉内的重锤设置在热场元件的轴线上,这样可以保证石英埚能够平稳地放置到位,并且单晶硅炉的提升装置精度非常高,这样保证了此放置过程的安全性。利用本实用新型提供的石英埚吊具将装好原料的石英埚吊装到炉内,此过程只需3分钟,大大缩减了装料的时间,提高了生产效率,避免了原料受污染的几率。
附图说明
图1是本实用新型石英埚夹具的结构示意图;
图2是本实用新型吊钩的结构示意图;
图3为图2中A-A处放大的截面结构示意图;
图中:1-石英埚夹具,2-吊钩,3-圆环形底座,4-连接杆,5-水平圆环,6-拉杆,7-吊环。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
实施例一
一种石英埚吊具,包括石英埚夹具1和吊钩2。参见图1,一种石英埚吊具1,包括圆环形底座3、连接杆4和吊架。圆环形底座3由至少2个均等的环段组成,本实施例中采用4个均等的环段,便于操作和加工,当然也可以由其他数量的均等的环段组成,每相邻两环段间通过位于环段端部的支耳用螺栓连接,这样有利于石英埚吊具的组装以及实现对石英埚的夹紧。吊架包括吊环7、拉杆6和水平圆环5,水平圆环5通过均布的拉杆6与吊环7固定连接,本实施例中采用焊接方式固定连接;拉杆6的数量至少为3个,本实施例中拉杆6的数目为4个,这样有利于均匀受力。连接杆4分别与圆环形底座3和水平圆环5铰接,水平圆环5的直径大于圆环形底座3的直径。
参见图2,吊钩2的挂钩端连接在吊环7上,另一端和单晶硅炉内设置的重锤上的夹头固定连接,因此吊钩2的尺寸和重锤的夹头的尺寸相配合。图3为吊钩2在A-A处的截面图,吊钩2上A-A处的凹口和重锤的夹头相适配,以将吊钩2钩固定在重锤上。
具体操作过程:首先在单晶硅炉外部将多晶硅原料装进石英埚内,然后用石英埚夹具1将石英埚夹住,拧紧圆环形底座3上的螺栓加紧石英埚,用吊 钩2将石英埚夹具1和重锤的夹头连接,最后利用单晶硅炉的提升装置将装好原料的石英埚送入单晶硅炉内。
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