[实用新型]多晶硅槽式制绒冷却装置无效
| 申请号： | 201020237505.7 | 申请日： | 2010-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN201695107U | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 郝子龙 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 周祥生 |
| 地址： | 213200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 硅槽式制绒 冷却 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅槽式制绒冷却装置，其特征是：包括制绒槽(1)、腐蚀液输入管(2)、循环泵(3)、入口温度传感器(4)、热交换器(5)、腐蚀液输出管(6)、出口温度传感器(7)、冷却液池(8)、变量泵(9)、回收池(10)和电控部件(11)，所述热交换器(5)由冷却槽内腔(51)、腐蚀液输入口(52)、热液腔(53)、热液支管(54)、冷液腔(55)、腐蚀液输出口(56)、冷却液入口(57)和冷却液出口(58)，腐蚀液输入口(52)与热液腔(53)相通连，冷液腔(55)与腐蚀液输出口(56)相通连，所有热液支管(54)都与热液腔(53)和冷液腔(55)相通连；冷却液入口(57)和冷却液出口(58)均与冷却槽内腔(51)相通连，冷却液入口(57)通过变量泵(9)与冷却液池(8)相连，冷却液出口(58)与回收池(10)相连；制绒槽(1)通过磁力循环泵(3)和高温腐蚀液输入管(2)与腐蚀液输入口(52)相通连，腐蚀液输出口(56)通过冷却腐蚀液输出管(6)通入制绒槽(1)内，在高温腐蚀液输入管(2)上设有入口温度传感器(4)，在冷却腐蚀液输出管(6)上设有出口温度传感器(7)，磁力循环泵(3)、入口温度传感器(4)、出口温度传感器(7)和变量泵(9)均与电控部件(11)电连接。
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