[实用新型]一种激光分光装置及激光加工设备

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及用激光束加工，尤其涉及用激光束加工中的一种激光分光装置及激光加工设备。

【背景技术】

随着工来的快速发展，激光加工工艺对高速度、低成本的要求更为迫切，而传统激光加工所用的激光加工设备多是一个激光器对应一个激光加工头，这种模式成本较高，又或者用光纤进行耦合分光，这种模式虽然提高了速度，但是，光纤耦合的成本极高，激光能量损耗也相当大。

【实用新型内容】

为了解决现有技术中激光加工设备成本高的缺陷，本实用新型提供了一种激光分光装置及激光加工设备。

本实用新型提供了一种激光分光装置，包括输入机构和输出机构，还包括分光机构，所述输入机构、分光机构和输出机构按照激光的传播顺序设置，所述输入机构包括发射出激光输入光线的激光器和将所述激光器发射出的激光输入光线扩束并准直形成激光扩束光线的扩束镜，所述分光机构包括调节所述激光扩束光线的振动方向形成激光调后光线的第一半波片和将所述激光调后光线向第一分光路径和第二分光路径分光的分光棱镜。

作为本实用新型的进一步改进，所述输出机构包括对通过所述分光棱镜分向所述第一分光路径的第一分光光线进行反射的全反射镜片。

作为本实用新型的进一步改进，所述输出机构包括对通过所述分光棱镜分向所述第一分光路径的第一分光光线的振动方向进行调节的第一四分之一波片。

作为本实用新型的进一步改进，所述输出机构包括对通过所述分光棱镜分向所述第二分光路径的第二分光光线的振动方向进行调节的第二半波片。

作为本实用新型的进一步改进，所述输出机构包括对通过所述分光棱镜分向所述第二分光路径的第二分光光线的振动方向进行调节的第二四分之一波片。

本实用新型还提供了一种激光加工设备，包括输入机构、输出机构和加工机构，还包括分光机构，所述输入机构包括发射出激光输入光线的激光器和将所述激光器发射出的激光输入光线扩束并准直形成激光扩束光线的扩束镜，所述分光机构包括调节所述激光扩束光线的振动方向形成激光调后光线的第一半波片和将所述激光调后光线向第一分光路径和第二分光路径分光的分光棱镜，所述加工机构包括接收所述第一分光光线的第一激光加工头和接收所述第二分光光线的第二激光加工头。

作为本实用新型的进一步改进，所述输出机构包括将通过所述分光棱镜分向所述第一分光路径的第一分光光线反射到所述第一激光加工头的的全反射镜片。

作为本实用新型的进一步改进，所述输出机构包括对通过所述分光棱镜分向所述第一分光路径的第一分光光线的振动方向进行调节并将所述第一分光光线射向所述第一激光加工头的第一四分之一波片。

作为本实用新型的进一步改进，所述输出机构包括对通过所述分光棱镜分向所述第二分光路径的第二分光光线的振动方向进行调节并将所述第二分光光线射向所述第二激光加工头的的第二半波片。

作为本实用新型的进一步改进，所述输出机构包括对通过所述分光棱镜分向所述第二分光路径的第二分光光线的振动方向进行调节并将所述第二分光光线射向所述第二激光加工头的第二四分之一波片。

本实用新型的有益效果是：通过前置的扩束镜实现先进行扩束和准直，再进行分光，可降低对激光所走距离的要求，通过所述分光棱镜进行分光，通过调节所述第一半波片的快轴方向可以连续改变分光后的激光能量比例，即对分光的能量进行调节分配，可以将分光后的激光能量调节的非常接近，有利于分光之后加工的一致性，可以大幅提高激光的加工速度，降低成本，特别适用对速度要求较高，对激光能量要求较低的加工，如对IC的加工。

【附图说明】

图1是本实用新型一种激光加工设备的结构原理示意图。

【具体实施方式】

下面结合附图说明及具体实施方式对本实用新型进一步说明。