[实用新型]一种全息光栅的制作装置

权利要求书

1.一种全息光栅的制作装置，其特征在于：所述制作装置包含光源、扩束镜、空间滤波器、平面平晶和用于记录经平面平晶两个光学表面反射形成平行干涉条纹的全息干版；其中，光源、扩束镜、空间滤波器和平面平晶沿光束前进的方向依次共轴排列，平面平晶与光轴形成的夹角可调，用于记录经平面平晶两个光学表面反射形成平行干涉条纹的全息干版位于干涉场。

2.根据权利要求1所述全息光栅的制作装置，其特征在于：所述制作装置还包含凸透镜，凸透镜位于空间滤波器和平面平晶之间，凸透镜与扩束镜的距离是当光束经过凸透镜后形成发散光为宜。

3.根据权利要求1所述全息光栅的制作装置，其特征在于：所述的平面平晶的两个表面夹角小于1°。

4.根据权利要求3所述全息光栅的制作装置，其特征在于：所述的平面平晶为两面不平行度小于一分、平面粗糙度小于1/50波长的平行平晶。

5.根据权利要求1所述全息光栅的制作装置，其特征在于：所述的平面平晶与光轴形成的夹角为20°～80°。

6.根据权利要求1～3任一项所述全息光栅的制作装置，其特征在于：所述的光源为连续波激光器。

7.根据权利要求6所述全息光栅的制作装置，其特征在于：所述的连续波激光器为He-Ne激光器、He-Cd激光器或半导体激光器。

8.根据权利要求1～3任一项所述全息光栅的制作装置，其特征在于：所述的空间滤波器为针孔。

9.根据权利要求8所述全息光栅的制作装置，其特征在于：所述针孔的直径为10～30微米。

10.根据权利要求1～3任一项所述全息光栅的制作装置，其特征在于：所述全息干版为银盐全息干版、光致抗蚀剂或重铬酸盐明胶片。