[实用新型]一种研磨盘平面度测量仪无效
| 申请号： | 201020231959.3 | 申请日： | 2010-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN201780094U | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 段俊杰;徐国斌 | 申请（专利权）人： | 嘉兴海盛电子有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/28 | 分类号： | G01B5/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314001 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 平面 测量仪 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨盘平面度测量仪，包括主架、千分表和锁紧螺钉，所述千分表通过锁紧螺钉连接于主架上，其特征在于所述研磨盘平面度测量仪还包括至少三个不在同一直线上的基准底脚螺钉，所述基准底脚螺钉设于主架上。
2.如权利要求1所述的研磨盘平面度测量仪，其特征在于所述基准底脚螺钉为三个，并呈等腰三角形排布。
3.如权利要求1所述的研磨盘平面度测量仪，其特征在于所述千分表包括测针，所述测针外部设有轴套，所述主架侧面开设有螺纹孔，所述锁紧螺钉穿过螺纹孔顶住轴套。
4.如权利要求1所述的研磨盘平面度测量仪，其特征在于所述研磨盘平面度测量仪包括三个千分表。
5.如权利要求4所述的研磨盘平面度测量仪，其特征在于所述三个千分表设于主架的同一直线上。
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