[实用新型]一体化真空充气系统无效
| 申请号： | 201020223781.8 | 申请日： | 2010-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN201725770U | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 邹仲秋 | 申请（专利权）人： | 上海易玺电子科技有限公司;上海嘉定泰和玻璃厂 |
| 主分类号： | H01J9/395 | 分类号： | H01J9/395 |
| 代理公司： | 上海集信知识产权代理有限公司 31254 | 代理人： | 周成 |
| 地址： | 201700 上海市青浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一体化 真空 充气 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种一体化真空充气系统，其特征在于，
包括主机和控制箱，主机包括机箱、均设于机箱内的抽真空机构和充气机构、设于机箱上并分别与抽真空机构和充气机构相连的作业台；控制箱分别与抽真空机构和充气机构进行电连接。
2.如权利要求1所述的一体化真空充气系统，其特征在于，
所述的抽真空机构包括机械泵、低真空管路、高真空油扩散泵和高真空管路，低真空管路分别与机械泵、作业台相连通；高真空管路一端也与作业台相连通，另一端与高真空油扩散泵相连，并连接至机械泵。
3.如权利要求2所述的一体化真空充气系统，其特征在于，
所述的充气机构包括储气罐和充气管路，储气罐分别与充气管路相连并连接至作业台。
4.如权利要求3所述的一体化真空充气系统，其特征在于：
所述的低真空管路和高真空管路上还分别设有气动阀；
所述的充气管路上还分别设有减压阀和充气阀；
所述的控制箱与各气动阀、减压阀、充气阀以及机械泵、高真空油扩散泵电连接。
5.如权利要求3所述的一体化真空充气系统，其特征在于：
所述的储气罐包括氩气罐和氪气罐。
6.如权利要求2所述的一体化真空充气系统，其特征在于：
该系统还包括一冷水机，通过循环水管与高真空油扩散泵相连接。
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