[实用新型]太阳能电池沉积夹具

权利要求书

1.一种太阳能电池沉积夹具，包括电极板组件、信号馈入组件及腔室，其特征在于多套带屏蔽罩的电极板组件安装在腔室内构成放电的夹具阵列，信号馈入组件的一端与电极板组件的馈入口面接触连接，馈入射频或甚高频功率电源信号，该馈入口设置在带屏蔽罩电极板组件的阴极板背面中心区域内凹的矩形面上，所述的信号馈入组件是由腰部和头部构成弯曲形的条状馈入带，其头部信号馈入端面是矩形，腰部带绝缘屏蔽外壳。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池沉积夹具，其特征在于所述的信号馈入带是射频铜质导电带，其腰部外壳是带陶瓷绝缘层的屏蔽层。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池沉积夹具，其特征在于所述的馈入口位于完全屏蔽的阴极板背面中心区域内凹的矩形面上，在阴极板与屏蔽罩之间具有间隙或填充平板绝缘材料。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池沉积夹具，其特征在于所述带屏蔽罩电极板组件的屏蔽罩覆盖整个阴极板背面和侧面，电极板组件的阴极板与屏蔽罩之间具有间隙或填充平板绝缘材料。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池沉积夹具，特征在于所述的阴极板上设有屏蔽罩，该屏蔽罩上对应于阴极板的馈入口处开有通孔。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池沉积夹具，特征在于所述屏蔽罩的外层为金属壳，该金属壳与阴极板背面之间设有陶瓷绝缘层。

7.根据权利要求1所述的太阳能电池沉积夹具，特征在于所述的阳极板还包括接地体，导槽及基片装卸构件。

8.根据权利要求1所述的太阳能电池沉积夹具，特征在于所述的腔室包括气体腔、下底板、前门板、上后门板、下后门板、侧框架。