[实用新型]扫描电镜截面观测平台无效
申请号: | 201020223196.8 | 申请日: | 2010-06-10 |
公开(公告)号: | CN201698989U | 公开(公告)日: | 2011-01-05 |
发明(设计)人: | 杨文侃;王庆钱 | 申请(专利权)人: | 常州天合光能有限公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;H01J37/28;G01N23/225 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 王凌霄 |
地址: | 213031 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扫描电镜 截面 观测 平台 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种扫描电镜截面观测平台。
背景技术
扫描电子显微镜是一种比较理想的表面分析工具,可以直接观察大块样品的表面,且样品制备方便。但是现有的扫描电镜观测平台存在截面测量不便,测量平台规格各异,测量位置难以把握等问题。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是:设计一种扫描电镜截面观测平台,克服截面测量不便,测量平台规格各异,测量位置难以把握的问题。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种扫描电镜截面观测平台,包括基座,在基座上设置夹持样品的夹具,夹具包括固定块和滑动块,固定块设置在基座上,滑动块与基座之间设置滑动调节机构。
为方便确定测量位置,在基座上设置测量固定块与滑动块之间开口的距离的刻度尺。
具体地,滑动调节机构为螺旋滑动调节机构,包括设置在滑动块上的螺旋纹路和设置在基座外侧的螺旋扭具。
为保证测量效果,同时防止样品被夹碎,对样品进行固定的固定块和滑动块的夹口两侧设置导电材料。
平台为方形。
本实用新型的有益效果是:截面测量更加方便,测量平台的适应性广,测量位置容易得到。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明;
图1是本实用新型的平台的俯视图;
图2是本实用新型的平台的右视图;
其中:1.基座,2.固定块,3.滑动块,4.刻度尺,5.螺旋扭具,6.导电材料。
具体实施方式
一种扫描电镜截面观测平台,平台由原来的圆形更改为方形,大小为10mm*10mm规格,包括基座1,在基座1上设置夹持样品的夹具,夹具包括固定块2和滑动块3,固定块2设置在基座1上,滑动块3与基座1之间设置滑动调节机构。滑动调节机构为螺旋滑动调节机构,类似于扳手上,包括设置在滑动块上的螺旋纹路和设置在基座1外侧的螺旋扭具5。固定块2和滑动块3的滑动距离为8mm,通过滚动螺旋扭具,固定块2和滑动块3构成的夹口可以张开闭合,以对样品进行固定。在方形样品平台侧面设置有刻度尺4。根据测量台开合程度不同,根据刻度尺上面的值对测量范围进行选择。对样品进行固定的固定块2和滑动块3的夹口两侧设置导电材料6,可保证测量效果,同时防止样品被夹碎。
测量时,扭开夹具,放入样品,旋动螺旋扭具5闭合夹具,将样品加紧,同时将其旋入底座,然后安装于扫描电镜上,同时根据侧面的刻度尺对电镜的软件的测量范围进行选择后,就可以进行观察测量了。
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