[实用新型]三氯氢硅合成炉测温元件保护装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种生产三氯氢硅合成炉测温元件的保护装置，属于化工设备技术领域。

背景技术

三氯氢硅合成炉，是三氯氢硅生产的核心设备。在生产过程中硅粉与三氯氢硅反映放出大量热，因此控制检测合成炉运行的关键参数就是温度。在现有技术中，每台合成炉上有多个上下排列的测温点，在每个测温点处安装测温元件进行测温。在反应过程中测温元件要承受高温和硅粉的冲刷，还要受到腐蚀性物质的侵蚀，很容易损坏。通常每个测温元件使用时间不超过半个月，一旦磨损泄漏，气体外泄极易发生火灾等安全事故。为了避免因测温元件损坏造成的安全事故，同时也减少测温元件的更换数量，降低生产成本，有必要对现有设备进行改进。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够减少测温元件损坏的结构简单、安全、使用方便的三氯氢硅合成炉测温元件保护装置。

解决上述技术问题的技术方案是：

一种三氯氢硅合成炉测温元件保护装置，它由法兰，保护套、热电偶套组成，法兰安装在合成炉炉体的外壁上，保护套为圆筒状无缝钢管，保护套的一端与法兰焊接连接，保护套的另一端深入到炉体中，热电偶套穿过法兰孔，它的上部在合成炉炉体外，下部位于保护套内，热电偶套的下端封闭，热电偶安装在热电偶套中。

上述三氯氢硅合成炉测温元件保护装置，所述热电偶采用铠装热电偶，用螺栓固定在法兰上。

采用这种结构的三氯氢硅合成炉测温元件保护装置，可以使测温元件避免受到高温和硅粉的冲刷和腐蚀性物质的侵蚀，起到安全防护的作用。本装置具有整体结构简单、安全、安装方便、实用的优点。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中标记如下：合成炉炉体1、法兰2、保护套3、热电偶套4、热电偶5、接线端子6。

具体实施方式

图中显示，本实用新型由法兰2、保护套3、热电偶套4组成。

法兰2安装在合成炉炉体1的外壁上。本实用新型的一个实施例的法兰为DN40(国家GB/9119-2000法兰标准)法兰，沿着炉体上下排列，共有四个测点位置，测点间距1米。

保护套3为圆筒状无缝钢管，钢管的一端与法兰2焊接连接，钢管的另一端深入到合成炉炉体1中。本实用新型的一个实施例的保护套为￠25.4×5mm L＝500mm的无缝钢管。

热电偶套4穿过法兰孔，它的上部在炉体外，下部位于保护套3内，热电偶套4的下端封闭，热电偶5安装在热电偶套4中，热电偶5采用铠装热电偶，用螺栓固定在法兰2上。