[实用新型]一种干涉仪剪切量的标定装置

权利要求书

1.一种干涉仪剪切量的标定装置，其特征在于：所述干涉仪剪切量的标定装置包括激光器以及与激光器设置于同一光路上的CCD摄像机。

2.根据权利要求1所述的干涉仪剪切量的标定装置，其特征在于：所述干涉仪剪切量的标定装置还包括激光扩束镜；所述激光扩束镜设置于激光器和CCD摄像机之间，并与激光器和CCD摄像机处同一光路上。

3.根据权利要求2所述的干涉仪剪切量的标定装置，其特征在于：所述干涉仪剪切量的标定装置还包括干涉仪调整平台，所述干涉仪调整平台置于激光扩束镜和CCD摄像机之间。

4.根据权利要求3所述的干涉仪剪切量的标定装置，其特征在于：所述干涉仪调整平台是00级花岗石平台。

5.根据权利要求4所述的干涉仪剪切量的标定装置，其特征在于：所述00级花岗石平台的平面度为5微米。

6.根据权利要求5所述的干涉仪剪切量的标定装置，其特征在于：所述干涉仪剪切量的标定装置还包括激光器调整支架；所述激光器设置于激光器调整支架上。

7.根据权利要求6所述的干涉仪剪切量的标定装置，其特征在于：所述干涉仪剪切量的标定装置还包括CCD摄像机调整支架，所述CCD摄像机设置于CCD摄像机调整支架上。

8.根据权利要求1或2或3或4或5或6或7所述的干涉仪剪切量的标定装置，其特征在于：所述激光器是氦氖激光器、亚离子激光器或半导体激光器。

9.根据权利要求8所述的干涉仪剪切量的标定装置，其特征在于：所述激光器是氦氖激光器或亚离子激光器。

10.根据权利要求9所述的干涉仪剪切量的标定装置，其特征在于：所述CCD摄像机采用分辨率为1024×1024，像元尺寸0.012mm的CCD芯片，焦距为100mm的标准镜头。