[实用新型]行星工件架有效

专利信息
申请号: 201020214193.8 申请日: 2010-05-25
公开(公告)号: CN201729872U 公开(公告)日: 2011-02-02
发明(设计)人: 安其;张永和;董玢越 申请(专利权)人: 北京北仪创新真空技术有限责任公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 王莹
地址: 102600 北京市大兴工*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 行星 工件
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种工件架,尤其涉及一种行星工件架。

背景技术

在真空镀膜设备中,经常用到行星工件架。行星工件架是工件架的一种形式。固定在行星工件架上的工件在围绕自身中心做自转运动的同时也围绕工件架的中心做公转运动,这种复合运动可以有效地提高被镀工件的成膜均匀性。

如图1所示,真空镀膜过程中,通常采用的行星工件架主要包括:电机11、动密封装置22、中心齿轮33、行星架44、行星齿轮55。工件架固定在行星齿轮55上,电机11置于大气环境(非真空环境),通过联轴器和具有旋转功能的动密封装置22驱动行星架44旋转,行星架44带动行星齿轮55做公转运动;同时,中心齿轮33固定不动,由于行星齿轮55与中心齿轮33啮合,行星齿轮55进行自转运动,也就是说,行星齿轮55在进行公转运动的同时也进行自转运动。这是一种典型的周转轮系结构,但是这种行星工件架存在以下缺点:1.工件架只能保持行星运动(公转运动加自转运动),而不能仅保持公转运动,也不能保持在某一固定点进行自转运动;2.工件架的公转转速和自转转速为一定比例值,这取决于轮系的齿数比,该比值不可调,也就是说,当公转转速一定时,自转转速不可改变,由于真空室结构的限制,在镀膜工艺中往往不能采用理想的自转转速。

在真空镀膜设备中,常常配备多个沉积源,在仅使用一个沉积源时工件如果仍然做行星转动会浪费大量宝贵的高纯度沉积材料,因此需要一种行星工件架可以使工件盘在单一沉积源上方做自转运动,从而大大节约沉积材料。由于镀膜工艺各异,有时需要调节自转转速,或在公转与自转功能之间切换。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是:克服现有行星架只能做行星运动,不能定点自转、自转转速不可改变、不能仅进行公转运动等不足。

(二)技术方案

为解决上述技术问题,本实用新型提供一种行星工件架,包括电机、动密封装置、中心齿轮、行星架、工件盘、行星齿轮和行星齿轮部件,其特征在于:所述电机包括第一电机和第二电机;所述第一电机与所述行星架连接,用于驱动所述行星架,使所述行星架与所述第一电机同轴转动;所述行星架通过所述行星齿轮部件与所述行星齿轮连接,通过所述行星架的转动带动所述行星齿轮转动;所述第二电机连接有定齿轮,由所述第二电机驱动所述定齿轮,使定齿轮与第二电机同轴转动;所述定齿轮与所述中心齿轮啮合,由所述定齿轮的转动带动所述中心齿轮转动;所述行星齿轮与所述中心齿轮啮合。

其中,所述第一电机连接有齿轮减速器,所述齿轮减速器对所述第二电机进行变频调速控制。

其中,所述第二电机连接有齿轮减速器,所述齿轮减速器对所述第二电机进行变频调速控制。

(三)有益效果

本实用新型行星工件架可以做行星运动、或仅做公转运动、或在某一固定点做自转运动,并且自转转速可调可控,结构简单、轻便,内部无需使用繁琐的支撑结构。

附图说明

图1为传统行星工件架的总体结构图;

图2为本实用新型行星工件架的总体结构图。

其中:11:电机;22:动密封装置;33:中心齿轮;44:行星架;55:行星齿轮;1:第一电机;2:第二电机;3:动密封装置;4:中心齿轮;5:定齿轮;6:行星架;7:工件盘;8:行星齿轮;9:行星齿轮部件。

具体实施方式

下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例仅用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型保护的范围。

如图2所示,为本实用新型行星工件架的总体结构图。由图中可以看出,本实用新型的行星工件架包括电机、动密封装置3、中心齿轮4、行星架6、工件盘7、行星齿轮8和行星齿轮部件9,所述电机包括第一电机1和第二电机2;所述第一电机1与所述行星架6连接,用于驱动所述行星架6,使所述行星架6与所述第一电机1同轴转动;所述行星架6通过所述行星齿轮部件9与所述行星齿轮8连接,通过所述行星架6的转动带动所述行星齿轮8转动;所述第二电机2连接有定齿轮5,由所述第二电机2驱动所述定齿轮5,使定齿轮5与第二电机2同轴转动;所述定齿轮5与所述中心齿轮4啮合,由所述定齿轮5的转动带动所述中心齿轮4转动;所述行星齿轮8与所述中心齿轮4啮合。

所述第一电机1连接有齿轮减速器,所述齿轮减速器对所述第二电机1进行变频调速控制。

所述第二电机2连接有齿轮减速器,所述齿轮减速器对所述第二电机2进行变频调速控制。

本实用新型行星工件架可实现多种功能,包括:

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