[实用新型]一种深孔类零件影像测量装置

权利要求书

1.一种深孔类零件影像测量装置，其特征在于：包括大理石基准精密平台(6)、大理石精密基准立柱(8)；三维精密工作台(5)、同轴光源(4)、平晶(3)、单筒显微镜头(2)、电荷耦合器件(1)和Z向位置调整机构；其中大理石基准精密平台(6)和垂直安装在大理石基准精密平台(6)上的大理石精密基准立柱(8)构成机台，大理石基准精密平台(6)上还安装有三维精密工作台(5)和支架(14)，支架(14)上安装有同轴光源(4)，位于同轴光源(4)之上的支架(14)上还安装有平晶(3)；大理石精密基准立柱(8)上安装有Z向位置调整机构，Z向位置调整机构与单筒显微镜头(2)固连，单筒显微镜头(2)上安装有电荷耦合器件(1)。

2.如权利要求1所述的一种深孔类零件影像测量装置，其特征在于：所述的大理石精密基准立柱(8)上安装有转接板(17)，转接板(17)上安装有垫块(16)。

3.如权利要求1或2所述的一种深孔类零件影像测量装置，其特征在于：所述的Z向位置调整机构由手轮(10)、丝杠螺母副(13)、精密直线导轨(11)、直线轴承滑块(15)、载物连接块(7)、可调镜头支架(12)、Z向手动夹紧装置(9)和Z向位置检测装置组成；其中丝杠螺母副(13)上安装有手轮(10)，载物连接块(7)上安装有直线轴承滑块(15)，直线轴承滑块(15)与精密直线导轨(11)活动连接，且直线轴承滑块(15)与丝杠螺母副(13)固定连接；载物连接块(7)上安装有可调镜头支架(12)，可调镜头支架(12)上固 定安装有单筒显微镜头(2)；丝杠螺母副(13)与转接板(17)之间安装有Z向手动夹紧装置；载物连接块(7)与垫块(16)之间安装有Z向位置检测装置。

4.如权利要求3所述的一种深孔类零件影像测量装置，其特征在于：所述的可调镜头支架(12)包括第二本体(41)和第二铜套(42)，其中第二本体(41)通过第二沉头螺钉(43)与载物连接块(7)固连；第二本体(41)上设置有第二圆孔(44)和第二调整槽(45)，第二圆孔(44)和第二调整槽(45)连通；第二圆孔(44)与第二铜套(42)的外圆面间隙配合安装；第二调整槽(45)上安装有第二锁紧螺钉(46)，第二铜套(42)的内圆面与单筒显微镜头(2)间隙配合安装；第二本体(41)上还安装有第二去应力孔(47)，第二本体(41)上设置有第一螺孔(50)、第二螺孔(51)、第三螺孔(52)和第四螺孔(53)。

5.如权利要求3所述的一种深孔类零件影像测量装置，其特征在于：所述的Z向手动夹紧装置包括第一本体(19)和第一铜套(20)；其中第一本体(19)通过第一沉头螺钉(25)固定安装在转接板(24)上；第一本体(19)上设置有第一圆孔(21)和第一调整槽(22)，第一圆孔(21)与第一调整槽(22)连通；第一圆孔(21)与第一铜套(20)的外圆面间隙配合安装，第一铜套(20)的内圆面与丝杠螺母副(18)上的滚珠丝杠(27)间隙配合安装；第一调整槽(22)上安装有第一锁紧螺钉(23)；第一本体(19)上还安装有第一去应力孔(26)。 

6.如权利要求3所述的一种深孔类零件影像测量装置，其特征在于：所述的Z向位置检测装置包括光栅尺主尺(18)，光学读数头(28)，第一支架(29)，第二支架(30)，第三支架(31)；其中载物连接块(7)通过第六紧固螺钉(54)与第三支架(31)固连，第三支架(31)通过第五紧固螺钉(36)与光学读数头(28)固连，光学读数头(28)安装在光栅尺主尺(18)上，光栅尺主尺(18)分别通过第一紧固螺钉(32)和第三紧固螺钉(34)与第一支架(29)和第二支架(30)固连；且第一支架(29)和第二支架(30)又分别通过第二紧固螺钉(33)和第四紧固螺钉(35)与垫块(16)固连。

7.如权利要求6所述的一种深孔类零件影像测量装置，其特征在于：所述的第一支架(29)上安装有第一调整螺钉(37)和第二调整螺钉(38)；第二支架(30)上安装有第三调整螺钉(39)和第四调整螺钉(400；第三支架(31)上安装有第五调整螺钉(41)。

8.如权利要求1所述的一种深孔类零件影像测量装置，其特征在于：所述的三维精密工作台(5)包括X-Y二维工作台(48)和安装在X-Y二维工作台(48)上的斜面导轨副(49)。