[实用新型]一种蒸镀设备有效
| 申请号： | 201020203146.3 | 申请日： | 2010-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN201785478U | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 邱勇;张嵩 | 申请（专利权）人： | 昆山维信诺显示技术有限公司;清华大学;北京维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸镀设备，包括蒸镀室，位于蒸镀室内的坩埚，加热坩埚的蒸发源，基板，其特征在于，还包括有孔的挡板，挡板位于坩埚与基板之间，挡板上设有加热装置。
2.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述加热装置为加热丝或加热管或加热片。
3.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述挡板通过支撑装置固定于蒸镀室内。
4.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，挡板固定于真空室内壁上。
5.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述挡板表面积大于所述坩埚开口面积。
6.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述挡板上的孔为以下形状的一种或多种：圆形、规则多边形、不规则多边形。
7.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述挡板为以下任一种形状：圆形、规则多边形、不规则多边形。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山维信诺显示技术有限公司;清华大学;北京维信诺科技有限公司，未经昆山维信诺显示技术有限公司;清华大学;北京维信诺科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201020203146.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
