[实用新型]特殊气体泄漏保护装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种特殊气体泄露保护装置。

背景技术

现有，在半导体生产工艺中，大宗特殊气体系统(简称BSGS，全称BulkSpecialty Gas System)通过Y钢瓶(卧式的)向设备供应大流量的特殊气体，比如三氟化氮NF3、氨气NH3等等。由于这些特殊气体中，有的具有毒性，如三氟化氮NF3。如果泄露，人体吸到这些有毒气体后，会有损健康甚至于中毒死亡，而且泄露的NF3也会污染环境。有的特殊气体具有易燃性，如氨气NH3。泄露的NH3会腐蚀设备，同时还会污染环境。总之，大宗特殊气体的泄露，容易导致严重的安全事故，致使人员伤亡和环境污染。因此，我们必须防止泄露的气体造成危害。

目前，特殊气体的泄露主要集中在钢瓶的输出口和输出管(俗称猪尾管)的连接处。因此，如何防止泄露的特殊气体扩散到周围环境中是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种特殊气体泄露保护装置，可以防止泄露的气体扩散到周围环境中，从而，即保护工作人员的生命安全，又防止环境污染。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种特殊气体泄露保护装置，包括密封腔体和用于抽排所述密封腔体内气体的排放管路，所述特殊气体容置于钢瓶内，所述钢瓶的输出口与输出管的输入口连接，所述钢瓶和输出管的连接处设置于所述密封腔体内部，所述密封腔体设有排放口，所述排放管路的输入口与所述密封腔体的排放口密封固定连接。

所述排放管路与真空抽吸器连接。

所述排放管路与处于负压状态的总排放管路连接。

所述特殊气体泄露保护装置还包括气体处理装置，所述气体处理装置的输入口与所述排放管路的输出口密封固定连接。

所述排放管路内设置有气体探测器。

所述气体探测器直接与报警器连接。

所述排放管路内设有气体探测器，所述气体探测器与监视器连接，所述监视器与自动语音广播单元连接。

所述气体探测器采用电化学传感器。

所述密封腔体设有第一接口孔和第二接口孔，所述钢瓶的瓶颈密封穿套于所述第一接口孔内，所述输出管密封穿套于所述第二接口孔内。

所述密封腔体分成左腔体和右腔体，所述左腔体和右腔体相互铰接，所述左腔体和右腔体相互接触的表面上设有密封垫圈，所述左腔体和右腔体的相互接触处除铰接部位外其他部位通过卡扣连接。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型特殊气体泄露保护装置通过在钢瓶和输出管的连接位置(容易发生泄露的位置)设置密封腔体及其排放管路，可以将泄露的气体通过排放管路排到指定的装置，从而可以防止有毒或易燃或易腐蚀的特殊气体扩散到周围环境中，从而保护工作人员的生命安全，防止环境污染。另外，通过设置气体探测器，可以及时发现泄露情况并通知管理人员，以便管理人员及时采取措施防止泄露扩大，造成浪费以及更为严重的安全事故。综上所述，本实用新型可以有效保护环境和人身安全，并可将泄露气体回收利用。

附图说明

本实用新型的特殊气体泄露保护装置由以下的实施例及附图给出。

图1是本实用新型实施例的结构示意图；

图2是本实用新型实施例的密封腔体的结构示意图；

图3是本实用新型实施例的密封腔体增设调节合页后的结构示意图；

图中，1-密封腔体、11-左腔体、12-右腔体、13-第一接口孔、14-排放口、15-第二接口孔、16-不锈钢合页、17-卡扣、18-调节合页、2-钢瓶、3-输出管、4-排放管路、5-真空抽吸器、6-气体处理装置、7-气体探测器、8-监视器、9-自动语音广播单元。

具体实施方式

以下将对本实用新型的特殊气体泄露保护装置作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。