[实用新型]一种次单晶硅铸锭炉的双腔体隔热笼有效
| 申请号： | 201020195636.3 | 申请日： | 2010-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN201695105U | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 赵波;徐芳华;王琤 | 申请（专利权）人： | 绍兴县精功机电研究所有限公司;晶海洋半导体材料（东海）有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/06;C30B35/00 |
| 代理公司： | 浙江翔隆专利事务所 33206 | 代理人： | 张建青 |
| 地址： | 312030 浙江省绍*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 铸锭 双腔体 隔热 | ||
【权利要求书】：
1.一种次单晶硅铸锭炉的双腔体隔热笼，其特征在于，在隔热笼(7)内壁设有将隔热笼(7)分隔成上腔室和下腔室的环形挡块(11)，环形挡块(11)的中间连通上腔室和下腔室。
2.根据权利要求1所述的次单晶硅铸锭炉的双腔体隔热笼，其特征在于，所述的上腔室内设置加热器(9)，加热器(9)位于环形挡块(11)的上方且两者之间存在间距。
3.根据权利要求1或2所述的次单晶硅铸锭炉的双腔体隔热笼，其特征在于，所述的下腔室内设置用于放置坩埚的热交换台(13)，在热交换台(13)放置有坩埚时，坩埚的底部位于环形挡块(11)的下侧，坩埚的其他部分位于环形挡块(11)的上侧，且坩埚外侧壁与环形挡块(11)之间存在间距。
4.根据权利要求3所述的次单晶硅铸锭炉的双腔体隔热笼，其特征在于，所述的隔热笼(7)底部设有能够与隔热笼(7)开合连接的隔热板(15)，隔热笼(7)的底部内侧壁设有能够与隔热板(15)接触的密封凸环，所述的隔热板(15)的顶面为一个平面。
5.根据权利要求4所述的次单晶硅铸锭炉的双腔体隔热笼，其特征在于，所述的环形挡块(11)采用与隔热笼(7)相同的材料。
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