[实用新型]一种改进的慢拉槽

说明书

技术领域

本实用新型涉及超声清洗硅片技术，尤其涉及一种改进的慢拉槽。

背景技术

在用超声清洗硅片的过程中，清洗槽内的水会在超声的作用下产生泡沫，而泡沫在慢拉上升的过程中会吸附在硅片上面，经烘干处理后便会产生水印，从而影响硅片质量。

实用新型内容

针对以上缺陷，本实用新型的目的是提供一种可消除水面泡沫、保证槽内水位、可保持清洁的改进的慢拉槽，以解决现有技术的诸多不足。

为实现上述目的，本实用新型通过以下技术方案实现：

一种改进的慢拉槽，包括槽体、压缩空气管及纯水管，所述槽体水面上方安装一根不锈钢式压缩空气管，所述压缩空气管下方设有接通纯水的纯水管。

本实用新型所述的改进的慢拉槽的有益效果为：通过设置带有压缩空气的不锈钢管，使得从管壁上小孔吹出的气体可将槽内水面的泡沫吹走，并从溢流口排出，避免泡沫在慢拉上升的过程中吸附在硅片上面，避免产生水印及影响硅片质量；通过设置纯水管既可保证慢拉槽内的水位，又可保持水槽内的水的清洁。

附图说明

下面根据实施例和附图对本实用新型作进一步详细说明。

图1是本实用新型实施例所述改进的慢拉槽的结构示意图。

图中：

1、槽体；2、压缩空气管；3、纯水管；4、排气孔；5、溢流口。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型所述的改进的慢拉槽，包括槽体1、压缩空气管2及纯水管3，所述槽体1水面上方安装一根不锈钢式压缩空气管2，该压缩空气管2的管壁上排列设置若干排气孔4，此管口接上压强为约0.5MPA的压缩空气；所述压缩空气管2下方设有接通纯水的纯水管3，所述槽体1下侧开设一溢流口5，可使从管壁小孔吹出的气体把漂浮在水面上的泡沫吹走并从溢流口5排出，同时可保证慢拉槽内的水位，也可保持水槽内水的清洁。