[实用新型]同一平面等离子体发生器

权利要求书

1.本实用新型公开了同一平面等离子体发生器，包括多个射频电源和多个等离子体喷管等，其特征为：多个等离子体喷管是安装在一个平面支架上，多个喷管的喷口构成一个水平面，其中每个等离子体喷管是由一个包覆金属管电极的石英管以及石英管喷口外的一个圆环电极构成，石英管所包覆的管电极的一端是在石英管内，另一端是在管外，一个射频电源分别与石英管中的内电极和其外电极连接，石英管所包覆的金属管电极与一个进气管连接，进气管的另一端是通过气体减压阀与气瓶连接，当气体通过石英管所包覆的金属管电极的端部时电离生成等离子体，并由石英管的喷口喷出。

2.如权利要求1所述的同一平面等离子体发生器，包括多个射频电源和多个等离子体喷管等，其特征为：每个等离子体喷管是安装在一个平面支架上，多个喷管的喷口在同一个水平面上。

3.如权利要求1所述的同一平面等离子体发生器，包括多个射频电源和多个等离子体喷管等，其特征为：每个等离子体喷管是由一个包覆金属管电极的石英管以及石英管喷口外的一个圆环电极构成，石英管所包覆的金属管端部离石英管的喷口的距离范围是3-10毫米，石英管喷口外的金属圆环电极是包覆在石英管外接近喷口处。

4.如权利要求1所述的同一平面等离子体发生器，包括多个射频电源和多个等离子体喷管等，其特征为：每个石英管的内外电极分别与一个射频电源连接，射频电源的频率是6.78MHz，功率范围是10-30W。

5.如权利要求1所述的同一平面等离子体发生器，包括多个射频电源和多个等离子体喷管等，其特征为：石英管所包覆的金属管电极与一个进气管连接，进气管的另一端是通过气体减压阀与气瓶连接，气体是采用氩气。

6.如权利要求1所述的同一平面等离子体发生器，包括多个射频电源和多个等离子体喷管等，其特征为：在气体通过石英管所包覆的金属管电极喷口位置时被电离形成等离子体，并形成向外喷射的等离子体束流。